Шиберный затвор Советский патент 1982 года по МПК B22C15/26 B22C9/02 

(5) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

- 1

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы.

- Известна установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки изделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем указанные камеры снабжены автономными системами откачки.

Установка позволяет производить смену изделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации tl 3.

ч

Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы. Отсутствие шлюзовых устройств внутри промежуточнгой камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали, охлаждаемые в промежуточной камере, могут соприкасаться

с парами исходного соединения и продуктами их разложения.

Наиболее близкой к изобретению является установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру металлизации с входным отверстием,загрузочно-разгрузрчную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки,

10 соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой 2 .

Однако известная установка при 5 осаждении покрытий из газовой фазы не обеспечивает требуемого качества, поскольку изделия, транспортируемые в загрузочно-разгрузочную камеру,могут соприкасаться с парами исходного

20 соединения и продуктами их разложения.

Целью .изобретения является повышение качества покрытий. Поставленная ,цель достигается тем что установка, содержащая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки соединенную с камерой металлизации и разгрузочно-загрузочной камерой, снабжен заслонкой, установленной меж ду камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревате лем, установленным на толкателе, тор цовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации. , Такое конструктивное выполнение установки обеспечивает повышение качества покрытий за счет того, что в момент металлизации заглушка на торцовой части толкателя разобщает камеру металлизации и загрузочно-разгрузочную камеры. Пары исходного химического соединения при этом не проникают из камеры металлизации в загрузочно-разгрузочную камеру и не попадают на изделия. Кроме того, толкатель выполняет функции держателя изделий, что исключает необходимость иметь держатель изделия в камере металлизации, для чего он снабжен нагревателем. Возврат металлизированных изделий в загрузочно-разгру зочную камеру исключает необходимост иметь бункер для готовой продукции, что выгодно отличает предложенное устройство от известного. Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и разгрузоч но-загрузочную камеру разобщает заслонка, что имеет место при выходе на режим, смене деталей и т.п. При этом также исключается попадание паров ис ходного соединения и продуктов их распада на изделия. На чертеже показана принципиальная схема установки. Установка содержит загрузочноразгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3 торцовая часть которого выполнена в виде заглушки i с резистивным нагревателем 5,предназначенным для перемещения изделия 6, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10,при чем камера 9 металлизации снабжена испаряющим устройством 11. Промежуточная камера 10 соединена с шлюзовым устройством 7, снабженным заслонкой b и установленным на верхней части камеры 1, внутри которой смонтирован поворотный транспортер 2, предназначенный для перемещения кассет с изделиями 6. Компановка установки выполнена таким образом, что испаряющее устройство 11, входное отверстие 12 камеры 9 металлизации, шлюзовое устройство 7 и толкатель 3 с заглушкой расположены соосно и вертикально, причем заглушка k толкателя 3 в верхнем положении перекрывает входное отверстие 12 камеры 9 металлизации. Камера 1 имеет люк 13 для загрузки и выгрузки изделий , Установка работает следующим.образом. Через люк 13 изделия 6 загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк 13 закрывают и производят вакуумирование загрузочно-разгрузочной камеры 1. Одновременно при закрытой заслонке 8 шлюзового устройства 7 вакуумируют камеру 9 металлизации и производят ее термрстатирование до требуемой температуры. Затем открывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 и поднимают вверх толкатель 3, освобождая путь ; для перемещения заглушки k, В крайнем верхнем положении заглушка + упирается в нижний фланец камеры 9 металлизации, полностью перекрывая ее входное отверстие 12, при этом обрабатыва мое изделие 6 оказывается в камере 9 металлизации в зоне индукционного нагрева, в камеру подают пары исходного металлоорганического соединения (МОС), которые равномерно обтекают нагретую поверхность изделия 6 и разлагаются на этой поверхности с образованием покрытия и летучих продуктов разложения. Через заданный промежуток Времени прекращают выход паров из испаряющего устройства 11 В:камеру 9 металлизации. Затем толкатель 3 с заглушкой k и размещенным на ней изделием 6 опускают в крайнее нижнее положение. При выходе заглушки k с изделием 6 заслонку 8 закрывают. При опускании толкателя 3 изделие 6 с покрытием выводится из зоны действия толкателя 3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 при отсутствии паров МОС, а другое изделие без покрытия оказывается над толкателем.

После этого цикл повторяется.

По окончании обработки всех изделий закрывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 производят разгерметизацию загрузочно-разгрузочной камеры 1, выгрузку обработанных изделий 6 и загрузку новых изделий.

Использование изобретения позволяет повысить качество покрытий и безопасность процесса, исключив контакт персонала с исходными химичеЬкими соединениями, и газообразными продуктами их разложения.

Формула изобретения

Установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, она снабжена заслонкой,, установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревателем, установленным на толкателе, тордовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Патент США Vf 385665, кл. 204-298, 1971.