Установка для нанесения покрытий из газовой фазы Советский патент 1982 года по МПК C23C16/458 C23C16/46 

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы.

.Известна установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки изделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем указанные камеры снабжены автономными системами откачки. Установка позволяет производить смену изделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации l.

Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы. Отсутствие шлюзовых устройств внутри -промежуточной камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали охлаждаемые в промежуточной камере, могут соприкасатд ся с парами исходного соединения и продуктами их разложения.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемо му результату является установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загруэочно-разгрузочной камерой .

Однако такая установка при осаждении покрытий 43 тазовой фазы не обеспечивает требуемого качества, по10скольку -изделия, транспортируемые в загрузочно-разгрузочную камеру, могут соприкасаться с парами исходного соединения и продуктами их разложения. .

15

Целью изобретения является повышение качества покрытий.

Поставленная цель доотигается тем, что установка, содержаидая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочную

20 камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации,систему откачки, соединенную с камерой металлизации и разгрузочно-загрузочной каме25рой, снабжена заслонкой,установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой,и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого вы30полнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации. Такое конструктивное выполнение установки обеспечивает повышение качества покрытий, так как в момент металлизации заглушка на торцовой части толкателя разобщает камеру металлизации и загрузочноtразгрузочную камеру. Пары исходного химического соединения при этом не .проникают из камеры металлизации в загрузочно-разгрузочную камеру и не попадают на изделия.Толкатель выпол няет и функции держателя изделий,та .как вместо держателя изделий в. каме металлизации толкатель снабжен нагревателем, предназначенным для перемещения изделий. Нет необходимости иметь бункер для готовой продукции, потому что металлизированные изделия возвращаются в загрузочно-разгрузочную камеру. Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и загрузочноразгрузочную камеру разобщает заслонка при выходе на режим, смене деталей и т.п. При этом также предотвращается попадание паров исходн го соединения и продуктов их распада на изделия. На чертеже показана принципиальн схема предлагаемой установки. Она содержит загрузочно-разгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки 4 с резистиЕным нагревателем 5, предназ наченным для перемещения изделия б, шлюзовое устройство 7с заслонкой 8 камеру 9 металлизации, помещенную в промежуточную камеру 10, причем камера 9 металлизации снабжена испа ряющим устройством 11. Промежуточная камера .10 соединена с шлюзовым устройством 7, установленным на верхней части камеры 1. Поворотный транспортер 2 предназначен для пере мещения кассет с изделиями 6. Испаряющее устройство 11, входное отвер стие 12 камеры 9 металлизации,шлюзовое устройство 7 и толкатель 3 с заглушкой 4 расположены соосно и ве тикально, причем заглушка 4 толкате ля 3 в верхнем положении перекрывает входное отверстие 12 камеры 9 мета.. Камера 1 имеет люк 13 для загрузки и выгрузки изделий. Установка работает следующим образом. Через люк 13 изделия 6 загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк 13 закрывают и создают в загрузочно-разгрузочной камере 1 вакуум. . Одновременно при закрытой заслонке шлюзового устройства 7 образуется вакуум в камере 9 металлизации, затем производят ее термостатирование До требуемой температуры. После это открывают заслонку 8 шлюзового устройства 7 и поднимают толкатель 3. Освобожденная заглушка 4 перемещается и в крайнем верхнем положении упирается в нижний фланец камеры 9 металлизации, полностью перекрывая ее входное отверстие 12, при этом обрабатываемое изделие 6 оказывается в камере 9 металлизации в зоне индукционного нагрева. В камеру подают пары исходного металлоорганического соединения (МОС), которые ра.вномерно обтекают нагретую поверхность изделия 6, разлагаются на этой поверхности и образуют покрытия и летучие продукты разложения. .Через заданный промежуток времени прекращают выход паров из испаряющего устройства 11 в камеру 9 металлизации. Затем толкатель 3 с заглушкой 4 и размещенным на ней изделием 6 опускают в крайнее нижнее положение. При выходе заглушки 4 с изделием б заслонку 8 закрывают. При опускании толкателя 3 изделие 6 с покрытием выводится из зоны действия толкателя 3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 при отсутствии паров МОС, а другое изделие без покрытия оказывается над толкателем. После этого цикл повторяется. По окончании обработки всех изделий закрывают заслонку 8 шлюзового устройства 7, производят разгерметизацию загрузочно-разгрузочной камеры 1 и выгрузку обработанных изделий б и загрузку новых изделий. Использование изобретения позволяет повысить качество покрытий и обеспечить безопасность процесса. Формула изобретения Установка для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащая камеру металлизации с входным отверстиемj загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в камеру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой метал.лизации и загрузочно-разгрузочной камерой, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, она снабжена заслонкой, установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации. . Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент США 3915.117, кл. 118-49, 1975. 2.Патент США № 3856654, кл. 204-298,1971.