Способ химического осаждения меди Советский патент 1982 года по МПК C23C3/02 

(54) СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ

1

Изобретение относится к нанесению металлических, в частности медных покрытий путем химического осаждения, медн на металлические и неметаллические материалы.

Известно для интенсификации процессов,

химического осаждения металлических в том числе и медных покрытий наложение переменного электромагнитного поля различной частоты 11.

Однако этот прием не обеспечивает получе- Q ння пластичных покрьггий при толщине до 100 мкм.

Известен способ химического осаждения меди из щелочных формальдегидных растворов с добавками трильна Б и других органических , веществ, например, полиэтиленгликоля, который позволяет получать пластичные покрытая 2.

Однако при его осуществлении пластичные покрытия осаждаются до толщины не более 15 мкм.29

Цель изобретения - повыщение пластичности покрытий толщиной до 100 мкм.

Цель достигается тем, что в способе, включающем: осаждение меди из щелочных формальдегидных растворов, чередуют процесс осаждения с обработкой покрытия в щелочном растворе формальдегида, содержащем, г/л:

Гидроокись натрия10-100

Формальдегид5 -40

причем обработку осуществляют после нанесения каждого слоя меди толщиной 5-10 мкм в течение времени, которое составляет 20-120% от времени осаждения слоя меди.

Процесс осаждения меди можно проводить как с наложением, так и без наложения переменного электромагнитного поля частотой 1 100 Гц.

Наложение переменного электромагнитного поля частотой 1-100 Гц, которое может быть осуществено при помощи вспомогательных электродов, опускаемых в-щелочной раствор формальмальдегида позволит уменьишть необходимое время обработки в этом растворе в 2 раза независимо от частоты поля в указанном диапазоне.

Дальнейщее повыщение частоты электромагнитного поля нецелесообразно, т. с. прицедет

3

к уиеличению необходимого времени обработки.

При обработке каждого слоя медного покрытия в щелочном растворе формальдегида в течение времени, которое составляет 20%

от времени осаждения слоя, угол изгиба образца до появления трещин увеличивается с 85° (без обработки) до 120°, а при обработке в течение времени, которое составляет 120% от времени осаждения слоя меди, угол изгиба увеличивается до 137°.

2,5 2,52,5

505050 , -1010 -0,53,0

-1010

-40-40 --,85120137

Во всех случаях осаждение медного покрытия осуществляют на подложку из стеклотекстолита марки СТЭФ в растворе, содержащем следующие вещества.

Медь сернокислую, г/л20

Трилон Б, г/л60

Формальдегид (37%-ный раствор), мл/л40

Сульфид свинца, г/п0,2

Диэтилдитиокарбамат натрия, г/л0,01

Дальнейшее увеличение времени обработки не приводит к повышению пластичности по;1срытий.

Уменьшение концентрации едкого натра и формальдегида ниже указанных в растворе приводит к снижению пластичности покрытий, дальнейшее увеличение их концентраций не дает возможности увеличить угол изгиба образца.

Условия осаждения, свойства покрытий приведены в таблице.

2,5 2,5

2,5

2,5

50 50

100

50

ш

10 10

10

0,6

2,0 0,08

1,0

10

5010

100

40

20

40

0,080,6

I

135115 136134

Этилендиамнн (70%-ный раствор), мл/л2

Гидроокись до рН12,5-13,0

Как видно из данных таблицы обработка в щелочном растворе формальдегида позволяет повысить пластичность покрытий толщиной 50 и 100 мкм.

Формула изобретения Способ химического осаждения меди из щелочных формальдегидных растворов, о т 59452316

личающийся тем, что, с целью повы-в течение времени, которое составляет 20 шения пластичности покрьтш толщиной до120% от времени осаждения слоя меди. 100 мкм, процесс осаждения чередуют с

обработкой покрытия в щелочном раствореИсточники информации,

формальдегида, содержащем, г/л:5принятые во внимание при экспертизе

Гидроокись натрия10-1001. Патент Японии N 51-98995,

Формальдегид5-40кл, С 23 С 3/02, опублик. 9J8.

причем обработку осуществляют после нанесе-2. Шалкаускас М. и др. Химическая металния каждого слоя меди толщиной 5-10 мкмлизация пластмасс. Л., Химия, 1977, с. 120.

/