УНИВЕРСАЛЬНАЯ ШАХТНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1971 года по МПК G03G5/82 

Изобретение относится к области нацесения полупроводниковых селеновых слоев, применяемых в электрофотографии.

Известны установки для селенирования барабанов. Однако наличие движущихся рабочих органов внутри вакуумного объема затрудняет возможность сохранения надежного разряжения в течение длительного времени, снижает надежность контроля температуры и делает практически невозможным создание стабильного технологического процесса селенирования.

С целью повышения качества покрытий внутренняя полость барабана сообщается с атмосферой посредством отверстий, имеющихся в крышке камеры. Стяжная труба имеет отверстия для нодачи теплоносителя.

На фиг. 1 представлена предлагаемая установка, разрез; на фиг. 2 - принципиальная конструкция установки при загруженном барабане.

Универсальная шахтная установка включает в себя неподвижный трубчатый напылитель / с промежуточным слоем олова на внутренней новерхности.

В вакуумкамере 2 находится съемный лодочный испаритель 3 с нагревателем 4, который вынимается вместе с крышкой 5.

глушки с трубой 7 и верхнего вкладыша 8. Внутренняя полость барабана сообщается с атмосферой посредством отверстия на крышке 5. На стяжной трубе 7 сделаны отверстия для подачи теплоносителя.

Процесс проходит следующим образом. Сначала загрул ается лодочный испаритель и уплотняется технологический вакуумный

объем. Достигнув вакуума порядка Ь10 мм рт. ст., спиральным нагревателем 9 нагревают испаритель. По достижении рабочих температур селен свободно летит из лодочек и покрывает внутреннюю поверхность напылителя

ровным слоем. Замкнутая новерхность напылителя исключает непроизводительный распыл селена. Одной зарядки достаточно для напыления нескольких десятков барабанов. После зарядки лодочный испаритель удаляют, и его

место занимает собранный в приспособлении барабан.

После нолучения вакуума и включения нагревателя начинается возгонка селена на поверхности барабана, которую охлаждают для

предунреждеиия перегрева. По достижении заданной толщины слоя селена на барабане включают нагрев и напускают воздух в вакуумкамеру. Процесс возгонки прекращается, что уменьшает потери селена и обеспечивает

приспособлений «чегкопроизводят повторное напыление барабана.

Производительностьустановки 3-5 барабанов в смену.

Предмет изобретения

Универсальная шахтная установка для селенирования барабанов электрофотографических машин, имеюш,ая неподвижный трубчатый напылитель с промежуточным слоем олова на внутренней поверхности и расположенным в нем съемным лодочным испарителем и нагревателем, стяжную трубу для закреплеПИЯ барабана, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества покрытий, внутренняя полость барабана сообшается с атмосферой посредством отверстий, имеюшихся в крышке камеры, а стяжная труба имеет отверстия для подачи теплоносителя.

Фиг.. I