Способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электровакуумных приборов Советский патент 1982 года по МПК H01J9/28 H01J23/14 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТЛ.ПЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ВВОДОВ И ВЫВОДОВ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТЮВАКУУМНЫХ ПРИБОЮВ Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству электровакуумных приборов. Известен способ изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии, заключа щийся в металлизации керамических деталей и пайки их твердыкш припоями 1. Однако керамика обладает весьма высоким значениями коэффициента вторичной эмиссии, при работе прибора с поверхности керамических деталей могут возникать значительные по токи вторичных электронов, что приводит к изменению параметров приборов и нарушает стабильность их работы. Известен также способ изготовления металл керамических вводов и выводов энергии злек тровакуумных приборов, включающий операции металлизации части поверхности керамических детаяей, нанесения антидинатронного покрытия на поверхность керамики с последующим его вжиганием и пайки. При этом в качестве антидинатронного по крытия может быть использовано покрытие на основе нитрида бора 2. В этом способе, однако, не удается обеспечить высокое качество и надежность соединения пайкой металлокерамических деталей, так как летучие продукты разложения антидинатронного покрытия на основе нитрида бора, возникающие в процессе его вжигания в керамику, активно взаимодействуют с предварительно нанесенным металлизационным слоем, вызывая Образование дефектов в слое металлизации. Такие дефекты, проявляюищеся в виде темных пятен или остеклованных участхов металлизированной поверхности, резко снижают надежность соединения мёталлокераМ11ческих деталей, что, с свою очередь, приводит к снижению ресурса электроваку мных приборов. Цель изобретения - повыщение надежности сое/цшения металлокерамических деталей элек- тровакуумных приборов. Поставленная цель Достигается тем, что согласно способу изготовления металлокерамических вводов и выводов энергии электро- вакуумных приборов, включающему операции