Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов Советский патент 1983 года по МПК C03C15/00 

(54) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к способам обработки травлением изделий из неорганических диэлектрических материалов, преимущественно стеклоизделий, и может быть использовано в микроэлектронной технике и приборостроении. Известен способ обработки, предусматривающий защиту участков,- не под лежащих травлению восковой смесью. На изделие наносят защитный слой, за тем изделие погружают в травильную ванну l . Однако этот способ обеспечивает кратковременную защиту поверхности. В тех случаях, когда необходимо производить размерную обработку на глубине более 100 мкм, происходит отслоение восковой защиты по границе Травления и кислота проникает на за щищаемую поверхность. Наиболее близким к изобретению яв ляется способ защиты изделий из диэлектрических материалов, включающий предварительный нагрев изделия до 80-150°С, укладку на прогретую поверхность одного или нескольких слоев полиэтиленовой пленки толщиной 0,08-0,15 мкм, разглаживание ее металлическим катком, нагрев до оплавления (100°С) с охлаждением до комнатной температуры, травление а кислотной ванне, промывание в горячей воде, снятие пленки и ополаскивание изделия в воде С 2 3. Однако применение пленочной защити для изделия из кварца не обеспечивает защиты по боковым поверхностям.. В этом случае наблюдается отслоение пленки по истечении 10-15 мин, т.е. при травлении на глубину tO-60 мкм. Цель изобретения - обеспечение возможности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше 100 мкм. Цель достигается тем, что согласно способу защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов при травлении в кислотах путем нанесения пленки на участки, не подлежащие тра лению « с последующим отделением ; защитного покрытия, на участки, не подлежащие травлению, наносят липкую поливинилхлоридную пленку, которую покрывают восковой смесью. Кислотостойкая пленка с липким слоем обеспечивает надежную связь со стеклом, а восковая смесь выполняет роль механического прижима. На защищаемую поверхность наклады вают маску из липкой поливинилхлрридной пленки (ГОСТ 5.). Затем изделие вместе с маской обволакивают восковой смесью (за исключением мест, подлежащих травлению) и производят химическое Травление в растворе плавиковой кислоты на глубину 800 мкм. Съем защитного слоя после травления производят путем погружения в во ду комнатной температуры, нагрева во ды до температуры кипения с последую щим охлаждением. Анализ качеств обработанных изде лий показал надежность защиты участков, не подвергающихся травлению, и отсутствие подтравов. Для снижения трудоемкости разработана и внедрена специальная оснастка, позволяющая изготавливать маски из пленки путем вырубки на штампе,- а также оснастка, снижающая трудоемкость при нанесении маски с двух сторон на объект обработки. . Использование изобретения позволяет повысить качество обработки при длительном травлении (2,5 ч) на глубину свыше 500 мкм изделий из диэлект рических неорганических материалов, , преимущественно из кварцевого стекла, путем исключения подтравов. Формула изобретения Способ защиты поверхности изделий из диэлектрических материалов при травлении в кислотах путем нанесения пленки на участки, не подлежащие травлению, с последующим отделением защитного пбкрытия, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью обеспечения возможности травления поверхности изделий из кварца на глубину свыше 100 мкм, на участки, не подлежащие травлению, наносят липкую поливинилхлоридную пленку, которую покрывают восковой смесью. I Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Бахтик С. и Поспихал В. Облагораживание стекла. М., Стройиздат, 1970, с. . 2.Авторское свидетельство СССР У 557066, кл. С 03 С 15/02, 1973.