Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в тензометрии.
Известен способ термокомпенсации тензомоста, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем.
Однако точность компенсации этим способом недостаточная.
Для повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем короткого замыкания его части.
На чертеже представлена схема тензомоста в интегральном исполнении.
Он содержит контактные площадки 1-6, установленные на мембране 7 с диэлектрическим слоем (на чертеже не показан). На этом слое расположены тензорезисторы 8-11, компенсационный резистор 12 в виде змейки. Кроме того, располагают в расчетном месте этой змейки перемычку 13 для получения короткого замыкания.
Способ реализуется следующим образом.
Посpедством контактных площадок 1-6 тензомост включается в измерительную схему. При нормальных климатических условиях. Измеряют его выходные сигналы при полностью закороченном компенсирующем резисторе 12 и при полностью включенном этом резисторе. Затем воздействуют на тензомост жидким азотом и измеряют при этом его выходной сигнал.
С учетом указанных значений выходных сигналов тензомоста расчетом получают значение компенсационного резистора 12, которое достигается закорачиванием части змейки перемычкой 13.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ | 2023 |
|
RU2801425C1 |
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНОГО ТЕНЗОМОСТА С ПИТАНИЕМ ОТ ИСТОЧНИКА ТОКА | 1994 |
|
RU2079102C1 |
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО НАСТРОЙКИ | 1985 |
|
RU2028584C1 |
СПОСОБ ТЕМПЕРАТУРНОЙ КОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ ДАТЧИКОВ | 1984 |
|
RU2027142C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1984 |
|
RU2024829C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1987 |
|
RU2034252C1 |
Интегральный преобразователь давления | 1989 |
|
SU1749731A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1991 |
|
RU2010194C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1985 |
|
RU2026537C1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1984 |
|
RU2028583C1 |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использованно в тензометрии. Повышение точности термокомпенсации тензомоста в интегрально-схемном исполнении достигается измерением его выходных сигналов при включенном компенсационном резисторе в виде "змейки", расположенной в зоне максимальной термодеформации. Эти измерения производят также и при воздействии жидкого азота. Расчетом получают точное значение указанного резистора. 1 ил.
СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТА, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем "короткого замыкания" его части.
Полупроводниковая тензометрия, материалы IV-й конф | |||
по полупроводниковой тензометрии, Львов, 1971, с.126-132. |
Авторы
Даты
1995-03-20—Публикация
1984-07-10—Подача