СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТА Российский патент 1995 года по МПК G01B7/16 

Описание патента на изобретение RU2031355C1

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в тензометрии.

Известен способ термокомпенсации тензомоста, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем.

Однако точность компенсации этим способом недостаточная.

Для повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем короткого замыкания его части.

На чертеже представлена схема тензомоста в интегральном исполнении.

Он содержит контактные площадки 1-6, установленные на мембране 7 с диэлектрическим слоем (на чертеже не показан). На этом слое расположены тензорезисторы 8-11, компенсационный резистор 12 в виде змейки. Кроме того, располагают в расчетном месте этой змейки перемычку 13 для получения короткого замыкания.

Способ реализуется следующим образом.

Посpедством контактных площадок 1-6 тензомост включается в измерительную схему. При нормальных климатических условиях. Измеряют его выходные сигналы при полностью закороченном компенсирующем резисторе 12 и при полностью включенном этом резисторе. Затем воздействуют на тензомост жидким азотом и измеряют при этом его выходной сигнал.

С учетом указанных значений выходных сигналов тензомоста расчетом получают значение компенсационного резистора 12, которое достигается закорачиванием части змейки перемычкой 13.

Похожие патенты RU2031355C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ 2023
  • Полунин Владимир Святославович
  • Шараева Вера Петровна
  • Козлова Наталья Анатольевна
  • Козлова Юлия Александровна
RU2801425C1
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНОГО ТЕНЗОМОСТА С ПИТАНИЕМ ОТ ИСТОЧНИКА ТОКА 1994
  • Назаров В.И.
  • Ворожбитов А.И.
  • Потапов А.В.
  • Кузекмаев А.В.
RU2079102C1
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО НАСТРОЙКИ 1985
  • Белозубов Е.М.
  • Михайлов П.Г.
RU2028584C1
СПОСОБ ТЕМПЕРАТУРНОЙ КОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ ДАТЧИКОВ 1984
  • Белозубов Е.М.
  • Михайлов П.Г.
RU2027142C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1984
  • Белозубов Е.М.
RU2024829C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1987
  • Белозубов Е.М.
  • Жучков А.И.
RU2034252C1
Интегральный преобразователь давления 1989
  • Ульянов Владислав Викторович
  • Белозубов Евгений Михайлович
  • Михайлов Петр Григорьевич
SU1749731A1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1991
  • Ворожбитов А.И.
  • Назаров В.И.
  • Педоренко Н.П.
  • Потапов А.В.
RU2010194C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1985
  • Михайлов П.Г.
  • Белозубов Е.М.
RU2026537C1
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ 1984
  • Белозубов Е.М.
RU2028583C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 031 355 C1

Реферат патента 1995 года СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТА

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использованно в тензометрии. Повышение точности термокомпенсации тензомоста в интегрально-схемном исполнении достигается измерением его выходных сигналов при включенном компенсационном резисторе в виде "змейки", расположенной в зоне максимальной термодеформации. Эти измерения производят также и при воздействии жидкого азота. Расчетом получают точное значение указанного резистора. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 031 355 C1

СПОСОБ ТЕРМОКОМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТА, заключающийся в том, что на тензомост воздействуют перепадами температур, измеряют выходные сигналы тензомоста и корректируют расчетные значения термокомпенсирующих резисторов эмпирическим путем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности компенсации интегрально-схемного тензомоста, расположенного на мембране при термоударе, один из термокомпенсирующих резисторов располагают на этой мембране в зоне максимального градиента термодеформации, перепад температур создают потоком жидкого азота на мембрану, а корректировку термокомпенсирующего резистора на мембране выполняют путем "короткого замыкания" его части.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1995 года RU2031355C1

Полупроводниковая тензометрия, материалы IV-й конф
по полупроводниковой тензометрии, Львов, 1971, с.126-132.

RU 2 031 355 C1

Авторы

Белозубов Е.М.

Даты

1995-03-20Публикация

1984-07-10Подача