СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Российский патент 2006 года по МПК G01R31/26 

Описание патента на изобретение RU2278392C1

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам разделения партии интегральных схем (ИС) на надежные и потенциально ненадежные схемы. Изобретение может быть использовано на выходном контроле у изготовителей ИС, а также на входном контроле у изготовителей радиоаппаратуры.

Известно, что в зависимости от уровня дефектности исходных материалов, разброса режимов технологических операций каждая ИС характеризуется своим значением интенсивности низкочастотного шума, зависящего от значения тока, на котором измеряется интенсивность шума [1].

Известен способ [2]: определив критерий интенсивности шума и отбраковав полупроводниковые изделия с большими значениями интенсивности шума, можно отсеять все потенциально ненадежные изделия, но в том числе и до 15% надежных.

Известен способ [3] обнаружения скрытых дефектов в линейных ИС, основанный на измерении импульсных шумов. Недостатком этого способа является то, что импульсные шумы наблюдаются только у линейных схем, а в логических схемах нет [4].

Наиболее близким к заявленному изобретению является способ отбраковки потенциально нестабильных полупроводниковых приборов [5], состоящий в том, что после измерения интенсивности шума в эксплуатационном режиме пропускают через прибор импульс тока в 1,5-5 раз, превышающий по амплитуде предельно-допустимое значение, а затем вновь измеряют интенсивность шума. По относительной величине изменения интенсивности шума определяют потенциальную ненадежность полупроводниковых приборов.

Недостатком способа является подача импульса тока, превышающего допустимое по техническим условиям значение, что может вызвать необратимые изменения в структуре прибора.

Изобретение направлено на повышение достоверности способа и его упрощения за счет того, что измеряется интенсивность шума ИС по цепи вход - общая точка на двух значениях тока. Эти значения тока находятся из измерений представительной выборки: первое значение выбирается равным такому значению, когда зависимость интенсивности шума от прямого тока для всех схем близка к прямой, второе значение тока - при резком возрастании значения интенсивности. По относительной величине изменения значений интенсивности шума, больше установленной, определяется потенциальная ненадежность схем.

Пример осуществления способа.

На 20 ИС типа К 137 ЛЕ 2 (схема эмиттерно-связанная логика) измерялось значение интенсивности шума по выводам "вход - общая точка". Измерение интенсивности шума проводилось методом прямого измерения на частоте 1 кГц и значениях тока 2, 4, 6, 8, 10 мА. На графике зависимости от тока (чертеж) для наихудшей (схема №2) и наилучшей (схема №4) зависимостей видно, что при значениях тока до 8 мА зависимость от тока имеет вид прямой, а при значениях тока 10 мА у ряда схем значение резко возрастает, поэтому измерение проводилось при двух значениях тока: 6 мА и 10 мА. В таблице даны значения для 6 и 10 мА и величины относительного изменения:

Таблица№ ИСЗначения мВ2, при токе, мА610122301,36234702,06330371,23415151,00521221,05623341,48723341,48821301,43921251,191022291,321124351,461221281,331320251,251425301,201527331,221618221,221717181,061824321,331921301,432025411,64

Если выбрать критерий, что для надежных схем К1,5, то схемы №2, 20 будут потенциально ненадежными.

Экспериментально это подтверждено следующим образом. Испытания схем на безотказность при повышенной температуре и максимально допустимой нагрузке показали, что ИС №2, 20 имели через 500 ч испытаний параметрические отказы.

Источники информации

1. Горлов М.И., Ануфриев Л.П., Бордюжа О.Л. Обеспечение и повышение надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем в процессе серийного производства. - Минск: Интеграл, 1997, 390 с.

2. Горлов М.И., Емельянов В.А., Адамян А.Г. Диагностические методы контроля качества и прогнозирующей оценки надежности полупроводниковых изделий. Минск "Белорусская наука", 2003, 96 с.

3. Авторское свидетельство СССР №1347050, G 01 R 31/28.

4. Ван дер Зил А. Шум. - М.: Советское радио, 1973, 178 с.

5. Авторское свидетельство СССР №490047, G 01 R 31/26.

Похожие патенты RU2278392C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ РАЗБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ 2003
  • Горлов М.И.
  • Емельянов В.А.
  • Жарких А.П.
RU2253168C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛЬНО НЕНАДЕЖНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ 2003
  • Горлов М.И.
  • Жарких А.П.
  • Емельянов В.А.
RU2234163C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛЬНО НЕНАДЕЖНЫХ БИПОЛЯРНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ 2005
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Жарких Александр Петрович
  • Шишкин Игорь Алексеевич
RU2309417C2
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ 2005
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
  • Ануфриев Дмитрий Леонидович
RU2309418C2
СПОСОБ РАЗБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ 2005
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Емельянов Антон Викторович
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
  • Сегал Юрий Ефимович
RU2289144C2
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ 2010
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Золотарева Екатерина Александровна
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
  • Терехов Владимир Андреевич
RU2515372C2
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПО НАДЕЖНОСТИ 2005
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
  • Ануфриев Дмитрий Леонидович
RU2292052C1
СПОСОБ ОТБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ ПОНИЖЕННОГО УРОВНЯ НАДЕЖНОСТИ 2010
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
  • Золотарева Екатерина Александровна
RU2484489C2
Способ неразрушающего контроля качества сверхбольших интегральных схем по значению критического напряжения питания 2018
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Сергеев Вячеслав Андреевич
  • Винокуров Александр Александрович
  • Алыбин Евгений Игоревич
  • Скоморохов Александр Александрович
RU2696360C1
СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ТРАНЗИСТОРОВ ПО НАДЕЖНОСТИ 2010
  • Горлов Митрофан Иванович
  • Золотарева Екатерина Александровна
  • Смирнов Дмитрий Юрьевич
RU2507525C2

Реферат патента 2006 года СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в процессе отбраковки партий интегральных схем. Технический результат - повышение достоверности. Для достижения данного результата измеряют интенсивность шума при двух значениях прямого тока, определяемых на представительной выборке по зависимости интенсивности шума от тока. По относительному изменению значения интенсивности шума, измеренного на двух значениях прямого тока, проводят разделение партии ИС на надежные и потенциально ненадежные схемы. 1 ил., 1 табл.

Формула изобретения RU 2 278 392 C1

Способ разделения интегральных схем, в соответствии с которым у интегральных схем измеряют интенсивность шума при двух значениях тока, отличающийся тем, что первоначально на достоверной выборке от партии схем измеряют зависимость интенсивности шума от тока, по которой устанавливают два значения тока, и по относительному изменению интенсивности шума при выбранных значениях тока партию схем разделяют на надежные и потенциально ненадежные.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2006 года RU2278392C1

Способ определения потенциально-нестабильных полупроводниковых приборов 1971
  • Денисюк Владимир Антонович
  • Копыл Георгий Филиппович
SU490047A1
Способ обнаружения скрытых дефектов в линейных интегральных схемах 1985
  • Карпов Александр Иванович
  • Андрущенко Анатолий Григорьевич
  • Макаров Юрий Михайлович
  • Леонтьев Валерий Юрьевич
SU1347050A1
СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ И ПРЕДУПРЕЖДЕНИЯ НАЗРЕВАЮЩИХ 0
  • И. Д. Вульман А. Е. Дорогое
SU367428A1
Горлов М.И., Емельянов В.А., Адамян А.Г
Диагностические методы контроля качества и прогнозирующей оценки надежности полупроводниковых изделий
Минск: Белорусская наука, 2003, 96 с
СПОСОБ ОТБРАКОВКИ КМОП ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ПО УРОВНЯМ НАДЕЖНОСТИ 1992
  • Архипов А.В.
  • Паршин А.В.
  • Пиганов М.Н.
  • Чернобровин Н.Г.
RU2046365C1

RU 2 278 392 C1

Авторы

Горлов Митрофан Иванович

Рубцевич Иван Иванович

Смирнов Дмитрий Юрьевич

Даты

2006-06-20Публикация

2005-02-24Подача