НАКОНЕЧНИК ДЕРЖАТЕЛЯ И СЕТКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТОМОГРАФИИ Российский патент 2007 года по МПК H01J37/20 H01J37/26 

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов.

Возможность получения информации о локальной структуре является основной особенностью метода просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) по сравнению с другими структурными методами исследования, дающими информацию, усредненную по объему образца. Будучи прямым методом, ПЭМ не требует a priory знания параметризованной модели структуры (в отличие от, например, порометрии, рентгеноструктурного анализа или рамановской спектроскопии) и позволяет исследовать материалы, в которых структура и морфология варьируются в широких пределах. Две эти особенности делают ПЭМ незаменимым, а во многих случаях и единственно возможным методом исследования микроструктуры и морфологии современных наноструктурированных материалов и наноразмерных устройств.

Изображения, получаемые методом электронной микроскопии, являются двумерными проекциями трехмерной структуры. Это обстоятельство не имеет значения при исследовании тонких образцов, однако им нельзя пренебречь в случае, когда размер подлежащих исследованию особенностей строения сопоставим с толщиной образца. Такая ситуация имеет место в биологии, где структура и морфология вирусов и макромолекул должна быть определена во всех трех измерениях, поскольку именно от пространственного строения этих объектов зависят их физические и химические свойства. Для решения этой задачи биологами с 1968 года используется метод электронной томографии (ЭТ) [D.J.de Rosier, A.Klug, Nature 217 (1968) 130]. Метод ЭТ позволяет по набору электронно-микроскопических снимков, полученных при наклоне образца в широком угловом диапазоне (±60° - ±80°) (угловая серия), реконструировать исходный трехмерный объект. Это единственный прямой метод исследования внутреннего строения микрообъектов размером в сотни нанометров с разрешением в единицы нанометров.

В последние годы в связи с бурным развитием нанотехнологий и наноэлектроники и, как следствие, уменьшением плоских размеров компонентов устройств до уровня, сопоставимого с их размером в третьем измерении, для того чтобы иметь представление о структуре устройства, возникла необходимость исследования этих объектов во всех трех измерениях. Та же тенденция имеет место и в материаловедении, где уникальные физико-химические и технологические качества новых композитных материалов зачастую обусловлены особенностями взаимного пространственного распределения компонентов, а также в катализе, где создаются гетерогенные катализаторы, в которых наноразмерные частицы активного компонента распределены во всех трех измерениях на поверхности или внутри носителя. Как ответ на этот запрос, в рамках метода электронной микроскопии был предложен ряд режимов съемки, позволяющих применять метод ЭТ для исследования особенностей пространственного строения объектов материаловедения. Это такие методы, как STEM HAADF [P.A.Midgley, M.Weyland, Ultramicroscopy 96 (2003) 413-431], EFTEM [G.Möbus, R.C.Doole, B.J.Inkson. Ultramicroscopy 96 (2003) 433-451], ADF ТЕМ с Cs-корректором [S.Bals, B.Kabius, M.Haider, V.Radmilovic, C.Kisielowski, Solid State Communications 130 (2004) 675-680] и HACDF [U.Kaiser, A.Chuvilin, Microsc. Microanal. 9 (2003) 36-41]. Последний метод (HACDF) особенно интересен, поскольку не требует дополнительного дорогостоящего оборудования и может быть реализован в обычном приборе ПЭМ.

Одним из основных препятствий широкому применению метода ЭТ в исследовании и охарактеризации объектов материаловедения является конструктивная особенность серийных приборов ПЭМ, ограничивающая доступный угол наклона образца в диапазоне ±40° - ±50°. Эта особенность заключается в малых (3-5 мм) размерах области между наконечниками объективных линз, в которую помещается образец. Увеличение размера этой области приводит к потере разрешения прибора. Другим фактором, сужающим доступный угловой диапазон, являются конструктивные особенности стандартных держателей и электронно-микроскопических сеток. На Фиг.1 приведен пример такого держателя. Он представляет собой металлическую пластину, в отверстие которой вставляется круглая ЭМ-сетка. В такой конструкции сетка при наклоне заслоняется держателем. Максимальный угол наклона, при котором ЭМ-сетка еще не заслоняет образец, связан с величиной отверстий в сетке W и толщиной сетки h следующим образом:

В соответствии с этим соотношением и опытными данными стандартные электронно-микроскопические (ЭМ) сетки допускают вращение образца в диапазоне ±50° - ±60°.

Изобретение решает задачу увеличения разрешения и снижения стоимости приборов ПЭМ.

Задача решается конструкцией томографического наконечника для держателя и конструкция томографических ЭМ - сеток, в связке дающих возможность съемки угловых серий в диапазоне углов до ±80°.

Область применения изобретения - это дооснащение уже существующих приборов ПЭМ с тем, чтобы получить возможность проведения томографических исследований, а также снижение требований к конструкции объективных линз, а значит, увеличение разрешения и снижение стоимости приборов ПЭМ.

Описание томографического наконечника для держателя: особенностью предлагаемого томографического держателя является то обстоятельство, что ЭМ-сетка зажимается и удерживается им сбоку, а не со всех сторон, как в стандартном держателе.

Описание томографических ЭМ-сеток: особенностью предлагаемых томографических ЭМ-сеток является то обстоятельство, что вместо отверстий, как в стандартных сетках, в них сделаны длинные узкие прорези в направлении, перпендикулярном оси держателя.

На Фиг.2 представлена схема томографического наконечника и сетки. Вверху - вид сверху, внизу - вид сбоку. Наконечник состоит из основания, за которое он крепится к держателю - 1, зажима - 2 с отверстием для зажимающего винта - 3. Томографическая ЭМ-сетка представляет собой тонкую пластину с длинными узкими отверстиями в направлении, перпендикулярном оси держателя - 4. ЭМ-сетка зажимается и удерживается наконечником сбоку, а не со всех сторон, как в стандартном держателе.

Сетка вставляется в наконечник, как показано на Фиг.2. Сам наконечник своим основанием прикрепляется к стандартному держателю и используется для получения угловых серий электронно-микроскопических изображений.

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов. Наконечник держателя для электронного микроскопа, состоящий из основания, за которое он крепится к держателю, зажима с отверстием для зажимающего винта и томографической сетки, сетка закреплена в наконечнике сбоку. Сетка для наконечника держателя для электронного микроскопа, допускающая ее вращение в диапазоне углов до ±80°, представляющая собой тонкую пластину с длинными узкими отверстиями в направлении, перпендикулярном оси держателя. Технический результат - увеличение разрешения просвечивающих электронных микроскопов. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

1. Наконечник держателя для электронного микроскопа, состоящий из основания, за которое он крепится к держателю, зажима с отверстием для зажимающего винта и томографической сетки, сетка закреплена в наконечнике сбоку.2. Сетка для наконечника держателя для электронного микроскопа, допускающая ее вращение в диапазоне углов до ±80°, представляющая собой тонкую пластину с длинными узкими отверстиями в направлении, перпендикулярном оси держателя.