ПОДЛОЖКИ, ПОКРЫТЫЕ СМЕСЯМИ ТИТАНОВЫХ И АЛЮМИНИЕВЫХ МАТЕРИАЛОВ, СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЛОЖЕК И КАТОДНЫЕ МИШЕНИ ИЗ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТИТАНА И АЛЮМИНИЯ Российский патент 2008 года по МПК C23C14/06 C03C17/36 B32B15/04 B32B7/02 

Текст описания приведен в факсимильном виде.

Изобретение относится к способам нанесения покрытий из титан- и алюминийсодержащих мишеней. Используют стеклянную подложку, имеющую площадь поверхности более 30 см². На поверхности подложки создают блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой. Выдерживают подложку в вакуумированной камере. Поддерживают атмосферу, содержащую газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей. Распыляют удлиненную катодную мишень, содержащую от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки. Получают покрытие, обладающее высокой коррозионной стойкостью, низким поверхностным сопротивлением и заданными оптическими свойствами. 10 з.п. ф-лы, 20 ил., 10 табл.

1. Способ нанесения покрытий, содержащих титан и алюминий, включающий: а) обеспечение стеклянной подложки, имеющей площадь поверхности более 30 см², где на поверхности подложки создан блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой; b) выдерживание подложки в вакуумированной камере, с) поддержание атмосферы, содержащей газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей, и d) распыление удлиненной катодной мишени, содержащей от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия, для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки.2. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит, по меньшей мере, один из следующих газов: инертный газ, кислород, азот и их смеси, катодная мишень дополнительно содержит кремний, а распылением напыляют покрытие, содержащее до 40 мас.% кремния.3. Способ по п.1, в котором мишень содержит от 20 до 70 мас.% алюминия и от 30 до 80 мас.% титана.4. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% какого-либо другого металлсодержащего материала.5. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% кремния.6. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия и их комбинаций.7. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот и кислород, и покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия, оксинитрида титана, оксинитрида алюминия, оксинитрида титан-алюминия и их комбинаций.8. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит кислород и инертный газ, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия и их смесей.9. Способ по п.2, в котором атмосфера в основном состоит из инертного газа, а покрытие в основном состоит из титана и алюминия.10. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород, а покрытие содержит оксид титана и оксид алюминия.11. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород и азот, а покрытие содержит оксинитрид титан-алюминия-кремния.