ПОДЛОЖКИ, ПОКРЫТЫЕ СМЕСЯМИ ТИТАНОВЫХ И АЛЮМИНИЕВЫХ МАТЕРИАЛОВ, СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЛОЖЕК И КАТОДНЫЕ МИШЕНИ ИЗ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТИТАНА И АЛЮМИНИЯ Российский патент 2008 года по МПК C23C14/06 C03C17/36 B32B15/04 B32B7/02 

Описание патента на изобретение RU2335576C2

Текст описания приведен в факсимильном виде.

Похожие патенты RU2335576C2

название год авторы номер документа
СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЦВЕТНОГО ОСТЕКЛЕНИЯ 2016
  • Магденко-Савуре Любовь
  • Агиар Розиана
RU2720846C2
СОЛНЦЕЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ И СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ СОЛНЦЕЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ 2018
  • Тиль, Джеймс, П.
  • Вагнер, Эндрю, В.
  • Полсин, Адам, Д.
  • О'Шонесси, Деннис, Дж.
  • Медвик, Пол, А.
  • Бьюхей, Гарри
  • Бенигни, Джеффри, А.
  • Энтони, Дональд
RU2768915C2
ВЫСОКОКАЧЕСТВЕННЫЕ НИЗКОЭМИССИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ, НИЗКОЭМИССИОННЫЕ СТЕКЛОПАКЕТЫ И СПОСОБЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2011
  • Майли Кари Б.
  • Пфафф Гари Л.
  • Ванс Грег
  • Хартиг Клаус
RU2558063C2
ЛИСТ СТЕКЛА, НЕСУЩИЙ МНОГОСЛОЙНОЕ ПОКРЫТИЕ 2005
  • Декрупе Даниэль
  • Депо Жан-Мишель
RU2431621C2
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОРРОЗИОННОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ ЗОЛОТИСТОГО ЦВЕТА НА ПОДЛОЖКАХ 1992
  • Егоров Андрей Вячеславович
  • Черных Алексей Валентинович
RU2039127C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ СВЕРХТВЕРДЫХ ПОКРЫТИЙ 2007
  • Беляев Виталий Степанович
  • Давлетшин Андрей Эрнстович
  • Плотников Сергей Александрович
  • Трахтенберг Илья Шмулевич
  • Владимиров Александр Борисович
RU2360032C1
СОЛНЦЕЗАЩИТНОЕ СТЕКЛО, ИМЕЮЩЕЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ 2015
  • Майле Александр
RU2695203C2
ИЗДЕЛИЕ, СОДЕРЖАЩЕЕ ЗАЩИТНЫЙ ВЕРХНИЙ СЛОЙ НА ОСНОВЕ СМЕШАННОГО ОКСИДА ЦИРКОНИЯ И АЛЮМИНИЯ 2017
  • Хаген, Ян
  • Сингх, Лаура Джейн
  • Бенедетто, Алессандро
  • Баррьер, Фредерик
  • Луи, Бенуа
RU2734517C2
БАРЬЕР ИЗ СПЛАВА НИОБИЙ-НИКЕЛЬ-ТИТАН ДЛЯ ПОКРЫТИЙ С НИЗКОЙ ИЗЛУЧАТЕЛЬНОЙ СПОСОБНОСТЬЮ 2016
  • Чжан Гуйчжэнь
  • Сюй Юнли
  • Вань Юй
  • Вэнь Сунь Чжи-Вэнь
  • Швайгерт Даниель
  • Лэ Минх Хуу
  • Лао Цзинюй
  • Имран Мухаммад
  • Чэн Джереми
  • Бойс Брент
  • Дин Говэнь
RU2721607C2
ТИТАНОВЫЙ МАТЕРИАЛ, СПОСОБ ЕГО ПРОИЗВОДСТВА И ВЫХЛОПНАЯ ТРУБА 2004
  • Ямамото Кендзи
  • Урусихара Ватару
  • Ясики Такаси
RU2272853C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 335 576 C2

Реферат патента 2008 года ПОДЛОЖКИ, ПОКРЫТЫЕ СМЕСЯМИ ТИТАНОВЫХ И АЛЮМИНИЕВЫХ МАТЕРИАЛОВ, СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЛОЖЕК И КАТОДНЫЕ МИШЕНИ ИЗ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТИТАНА И АЛЮМИНИЯ

Изобретение относится к способам нанесения покрытий из титан- и алюминийсодержащих мишеней. Используют стеклянную подложку, имеющую площадь поверхности более 30 см2. На поверхности подложки создают блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой. Выдерживают подложку в вакуумированной камере. Поддерживают атмосферу, содержащую газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей. Распыляют удлиненную катодную мишень, содержащую от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки. Получают покрытие, обладающее высокой коррозионной стойкостью, низким поверхностным сопротивлением и заданными оптическими свойствами. 10 з.п. ф-лы, 20 ил., 10 табл.

Формула изобретения RU 2 335 576 C2

1. Способ нанесения покрытий, содержащих титан и алюминий, включающий: а) обеспечение стеклянной подложки, имеющей площадь поверхности более 30 см2, где на поверхности подложки создан блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой; b) выдерживание подложки в вакуумированной камере, с) поддержание атмосферы, содержащей газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей, и d) распыление удлиненной катодной мишени, содержащей от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия, для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки.2. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит, по меньшей мере, один из следующих газов: инертный газ, кислород, азот и их смеси, катодная мишень дополнительно содержит кремний, а распылением напыляют покрытие, содержащее до 40 мас.% кремния.3. Способ по п.1, в котором мишень содержит от 20 до 70 мас.% алюминия и от 30 до 80 мас.% титана.4. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% какого-либо другого металлсодержащего материала.5. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% кремния.6. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия и их комбинаций.7. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот и кислород, и покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия, оксинитрида титана, оксинитрида алюминия, оксинитрида титан-алюминия и их комбинаций.8. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит кислород и инертный газ, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия и их смесей.9. Способ по п.2, в котором атмосфера в основном состоит из инертного газа, а покрытие в основном состоит из титана и алюминия.10. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород, а покрытие содержит оксид титана и оксид алюминия.11. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород и азот, а покрытие содержит оксинитрид титан-алюминия-кремния.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2008 года RU2335576C2

Способ нанесения покрытий в вакууме 1990
  • Шаповалов Владимир Павлович
  • Матяшов Сергей Гаврилович
SU1832130A1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ НА ИЗДЕЛИЯХ МЕТОДОМ ОБРАБОТКИ В ПЛАЗМЕ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА 1996
  • Беграмбеков Л.Б.
  • Вергазов С.В.
  • Захаров А.М.
RU2110606C1
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ 1989
  • Валеев А.С.
  • Кузьмин А.Н.
  • Лезгян Э.М.
  • Глебов А.С.
  • Фишель И.Ш.
  • Железнов Ф.К.
  • Хрусталев В.А.
SU1707995A1
US 4992087 А, 12.02.1991
WO 9708357 А, 06.03.1997
WO 03020656 А, 13.03.2003
JP 08120445 А, 14.05.1996
JP 2002026416 А, 04.02.2002
JP 9095782 А, 08.04.1997.

RU 2 335 576 C2

Авторы

Финли Джеймс Дж.

Даты

2008-10-10Публикация

2004-03-25Подача