СПОСОБ ОБРАБОТКИ КВАРЦЕВОЙ ОСНАСТКИ Российский патент 2009 года по МПК H01L21/306 

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах.

Известны способы обработки изделий из кварца. Обработку кварца проводят при более высоких температурах, чем обработку стекла (см. А.И.Курносов. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. - М.: Высшая школа. 1980. Стр. 272-273; Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь. - 1988. Стр.48-50).

Основным недостатком этих способов является неполное удаление примесей с кварцевой трубы после ряда диффузионных операций - диффузия бора, диффузия фосфора.

Техническим результатом изобретения является полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры и качества обработки кварцевых труб.

Технический результат достигается тем, что удаление загрязнений с кварцевой трубы происходит за счет использования раствора, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF и деионизованная вода - H₂O в соотношении 1:4. Длительность обработки составляет 30±10 минут. После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 30±10 минут.

Сущность способа заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при определенном соотношении, температура раствора комнатная. Процесс удаления различных загрязнений и примесей считается законченным в том случае, когда цвет индикаторной бумаги не изменяется. Обработку проводят при длительности процесса 30±10 минут.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.

ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов:

HF:H₂O=1:4

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 35 минут.

После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 35 минут.

Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.

ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов: HF:H₂O=1:4.

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 30 минут.

После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 30 минут.

Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.

ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов: HF:H₂O=1:4.

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 25 минут.

После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 25 минут.

Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.

Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры и качества обработки кварцевых труб.

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах. Сущность изобретения: в способе обработки кварцевой оснастки, включающем обработку кварцевой трубы после высокотемпературных операций в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды, обработку кварцевой трубы проводят при комнатной температуре в течение 30±10 минут в растворе при следующем соотношении компонентов HF:H₂O=1:4, после обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 30±10 минут. Техническим результатом изобретения является полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры и качества обработки кварцевых труб.

Способ обработки кварцевой оснастки, включающий обработку кварцевой трубы после высокотемпературных операций в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды, отличающийся тем, что обработку кварцевой трубы проводят при комнатной температуре в течение 30±10 мин в растворе при следующем соотношении компонентов HF:H₂O=1:4, после обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 30±10 мин.