СПОСОБ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВОЙ ТРУБЫ Российский патент 2014 года по МПК H01L21/306 

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах.

Известны способы обработки изделий из кварца. Основным недостатком этих способов является неполное удаление примесей с кварцевой трубы после ряда диффузионных операций (диффузия бора, диффузия фосфора) [1, 2].

Известен способ очистки кварцевой трубы, сущность которого заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе состоящей из фтористоводородной кислоты (HF) и деионизованной воды (H₂O) при комнатной температуре [3].

Недостатками этого способа являются длительность процесса и использование такого агрессивного вещества, как плавиковая кислота.

Целью изобретения является полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры, длительности обработки кварцевых труб и удешевление процесса.

Поставленная цель достигается тем, что удаление загрязнений с кварцевой трубы происходит за счет использования раствора в состав, которого входят бифторид аммония - NH₄HF₂ и деионизованная вода - Н₂О в соотношении 1:5. Длительность обработки составляет 20±7 минут. После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 20±5 минут.

Сущность способа заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе состоящего из бифторида аммония и деионизованной воды, температура раствора комнатная. Процесс удаления различных загрязнений и примесей считается законченным в том случае, когда цвет индикаторной бумаги не изменяется. Длительность процесса равна 20±7 минутам. После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20±5 минут.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.

ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:

NH₄HF₂:H₂O=1:5

Температура раствора комнатная. Время обработки 25 минут.

После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 23 минут.

Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.

ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:

NH₄HF₂:H₂O=1:5

Температура раствора комнатная. Время обработки 20 минут.

После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20 минут.

ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:

NH₄HF₂:H₂O=1:5

Температура раствора комнатная. Время обработки 15 минут.

После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 18 минут.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипами обеспечивает полное удаление остатков окисла с поверхности кварцевой трубы и качество обработки кварцевых труб, не требует больших затрат.

Литература

1. А.И.Курносов Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.: Высшая школа. 1980. 272-273.

2. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь. - 1988. Стр.48-50.

3. Патент №2366032, Н01L 21/306, 27.08.2009.

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах. Изобретение обеспечивает полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры, длительности обработки кварцевых труб и снижение стоимости процесса. В способе очистки кварцевой трубы удаление загрязнений с кварцевой трубы происходит за счет использования раствора в состав, которого входят бифторид аммония - NH₄HF₂ и деионизованная вода - H₂O в соотношении 1:5 при комнатной температуре. Длительность процесса равна 20±7 минут. После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20±5 минут.

Способ очистки кварцевой трубы, включающий обработку трубы в растворе, в состав которого входят бифторид аммония и деионизованная вода, отличающийся тем, что обработку проводят в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов NH₄HF₂:H₂O=1:5 при комнатной температуре в течение 20±7 минут, затем кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20±5 минут.