РАСТВОР ДЛЯ ОБРАБОТКИ КАРБИД-КРЕМНИЕВОЙ ТРУБЫ Российский патент 2009 года по МПК H01L21/306 

Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки карбид-кремниевой трубы, применяемой для проведения высокотемпературных процессов в диффузионных печах.

Известны способы обработки изделий в различных травителях при высоких температурах [1].

Основным недостатком этих способов является неполное удаление примесей и различных загрязнений с карбид-кремниевой трубы.

Целью изобретения является полное удаление различных примесей и загрязнений.

Поставленная цель достигается тем, что удаление загрязнений с карбид-кремниевой трубы происходит за счет использования раствора, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF, соляная кислота - НСl и деионизованная вода - Н₂О в соотношении 1:1:3,5. Длительность обработки составляет 20±5 минут. По окончании обработки трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре и времени, равном 30±5 минут.

HF:НСl:Н₂O

1:1:3,5

Сущность способа заключается в том, что карбид-кремниевую трубу подвергают обработке в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты, соляной кислоты и деионизованной воды, температура раствора комнатная. Качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги, которую следует приложить к мокрой внутренней поверхности трубы. В случае покраснении индикаторной бумаги следует повторить обработку. После чего установить трубу в шкаф и выдержать при комнатной температуре не менее 12 часов.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами:

ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке обработки карбид-кремниевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты, соляной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов:

HF:НСl:Н₂О

1:1:5,0

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 40±5 минут. По окончании обработки карбид-кремниевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 30±10 минут.

ПРИМЕР 2. Способ обработки осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки карбид-кремниевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты, соляной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов:

HF:НСl:Н₂O

1:1:4,0

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 30±5 минут. По окончании обработки карбид-кремниевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 30±10 минут.

Качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги.

ПРИМЕР 3. Способ обработки осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки карбид-кремниевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты, соляной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов:

HF:НСl:Н₂O

1:1:3,5

Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 20±5 минут. По окончании обработки карбид-кремниевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 30±10 минут.

Качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипом обеспечивает полное удаление различных загрязнений и качество обработки карбид-кремниевой трубы.

Источники информации

1. А.И. Курносов. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.: Высшая школа, 1980, стр. 88-89.

Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки карбид-кремниевой трубы, применяемой для проведения высокотемпературных процессов в диффузионных печах. Техническим результатом изобретения является полное удаление различных примесей и загрязнений. Сущность изобретения: удаление загрязнений с карбид-кремниевой трубы происходит за счет использования раствора, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF, соляная кислота - НСl и деионизованная вода - Н₂О в соотношении 1:1:3,5. Длительность обработки составляет 20±5 минут. По окончании обработки трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре и времени, равном 30±5 минут. Качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги.

Раствор для обработки карбид-кремниевой трубы, включающий обработку карбид-кремниевой трубы перед проведением высокотемпературных процессов в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты, соляной кислоты и деионизованной воды, отличающийся тем, что в качестве раствора используют раствор, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF, соляная кислота - НСl и деионизованная вода - Н₂О в соотношении компонентов 1:1:3,5 при комнатной температуре, длительность обработки 20±5 мин, далее осуществляют промывку в деионизованной воде в течение 30±10 мин, качество обработки определяют с помощью индикаторной бумаги.