ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА УГЛОВОЙ СКОРОСТИ Российский патент 2010 года по МПК G01C19/56 G01P9/04 

Описание патента на изобретение RU2379630C1

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения.

Известен чувствительный элемент датчика угловой скорости, содержащий основание, внутреннюю рамку, центр, соединенный четырьмя жесткими растяжками с внутренней рамкой, четыре подвижных массы, каждая из которых соединена с центром двумя упругими Г-образными подвесами, а с внутренней рамкой - шестью упругими Г-образными подвесами, а также дополнительно введенную внешнюю рамку, соединенную с внутренней рамкой четырьмя перемычками, расположенными по осям симметрии чувствительного элемента, по одной перемычке на каждой стороне рамок, и соединенную с основанием через четыре площадки крепления, расположенные в углах внешней рамки [1].

Недостатком такого устройства является сложность и трудоемкость изготовления чувствительного элемента, а также сложность обеспечения резонансной настройки возбуждаемых и сигнальных колебаний.

Известен также чувствительный элемент датчика угловой скорости, включающий закрепленную на основании несущую рамку, расположенные внутри и соединенные с ней упругими элементами две инерционные массы [2].

Недостатком такого устройства является низкая добротность измерительных колебаний, что вызвано потерями энергии при взаимодействии с основанием.

Наиболее близким по своей технической сущности к заявляемому изобретению является датчик угловых скоростей с чувствительным элементом, выполненным в виде кольцевого резонатора [3]. Чувствительный элемент выполнен из монокристаллического кремния, каждый резонатор содержит шестимиллиметровое кремниевое кольцо, поддерживаемое восемью радиально податливыми спицами, которые прикреплены к опорной рамке 10×10 мм. Токопроводящие проводники осаждаются и формируются только на верхней поверхности, а площадки для присоединения провода расположены на внешней опорной рамке. Кристалл анодно соединяется с опорной стеклянной структурой, которая температурно согласована с кремнием.

Недостатком такого устройства является достаточно большая погрешность из-за влияния внешних возмущающих факторов, например повышенной, пониженной температуры и траекторных возмущений. Другим недостатком, присущим таким чувствительным элементам, является низкая добротность измерительных колебаний, что вызвано потерями энергии при взаимодействии с основанием.

Задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является повышение точности прибора, благодаря повышению добротности колебательной системы, а также снижению влияния внешних возмущающих факторов.

Эта задача решается за счет того, что в чувствительном элементе датчика угловой скорости, выполненном на подложке монокристаллического кремния, в котором сформировано кольцо, поддерживаемое радиально податливыми упругими подвесами, которые прикреплены к внешней опорной рамке, дополнительно введен чувствительный элемент кольцевого типа, соединенный с основным чувствительным элементом упругими подвесами, через опорную рамку, расположенную между ними.

Высокая добротность колебательной системы обеспечивается минимальными потерями энергии в точке закрепления чувствительного элемента с неподвижным основанием за счет возбуждения колебаний обоих чувствительных элементов, осуществляемых одновременно в противофазе со стабилизацией амплитуды. При этом главный вектор силы и главный момент в точке закрепления упругих подвесов обеих колец на опорной рамке чувствительного элемента близки к нулю, то есть взаимодействие с основанием отсутствует.

При воздействии внешних возмущающих факторов происходит их вычитание. Тем самым сводится к нулю погрешность измерения и повышается точность прибора в целом.

На чертеже показан вид чувствительного элемента датчика угловой скорости, где 1 - опорная рамка; 2, 3 - упругие подвесы; 4, 5 - кольца (подвижные массы); 6 - неподвижное основание.

Чувствительный элемент датчика угловой скорости содержит опорную рамку 1, закрепленные на ней через упругие подвесы 2 и 3 кольцо (подвижная масса) 4 с одной стороны, и с другой стороны кольцо (подвижная масса) 5, неподвижное основание 6. Упругие элементы 2 и 3 являются одинаковыми. Подвижные массы 4 и 5, равные по величине, выполнены за одно целое с упругими элементами 2 и 3 из пластины монокристаллического кремния, ориентированной в кристаллографической плоскости 100 (возможно также применение плоскости 110).

Чувствительный элемент датчика угловой скорости работает следующим образом.

При подаче на прибор питания подвижные массы 4 и 5 начинают попарно колебаться в противофазе друг другу на резонансной частоте. При вращении чувствительного элемента относительно оси, перпендикулярной плоскости чувствительного элемента, на подвижные массы 4 и 5 начинают действовать кориолисовы силы, которые возбуждают колебания в направлении измерительной оси, амплитуда которых пропорциональна измеряемой угловой скорости.

Учитывая, что потери энергии данной колебательной системой определяются работой деформационных сил в точке закрепления, которые, как показал анализ при помощи программы ANSIS, равны нулю, т.к. равны нулю деформации и напряжения, то добротность предложенного чувствительного элемента является достаточно высокой по сравнению с прототипом, что естественно повышает и точность измерения. В целом предложенное изобретение снижает и трудоемкость, т.к. уменьшается балансировка без снижения точности.

Источники информации

1. Патент РФ №2301969, МПК G01С 19/56, G01Р 9/04, опубл. 27.06.2007 г.

2. Патент США №5911156, МКИ G01С 19/00, НКИ 73/504.16, опубл. 8.06.1999 г.

3. Hopkin I. Performance and Design of Silicon Micromachined Gyro // Symposium Gyro Technology, Germany. - 1997. - P.1.0-1.10. (прототип).

Похожие патенты RU2379630C1

название год авторы номер документа
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ВИБРАЦИОННОГО ГИРОСКОПА 2011
  • Чаплыгин Юрий Александрович
  • Тимошенков Сергей Петрович
  • Шилов Валерий Федорович
  • Миронов Сергей Геннадьевич
  • Киргизов Сергей Викторович
  • Глазков Олег Николаевич
  • Летунова Фаина Дмитриевна
  • Тимошенков Алексей Сергеевич
RU2453812C1
Способ управления четырехмассовым резонатором в микромеханическом гироскопе 2023
  • Анакин Алексей Игоревич
  • Быков Алексей Евгеньевич
  • Былинкин Сергей Федорович
  • Гаврилов Александр Александрович
  • Новиков Александр Олегович
  • Шипунов Андрей Николаевич
RU2825192C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА 2005
  • Былинкин Сергей Федорович
  • Миронов Сергей Геннадьевич
RU2301969C1
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА 2009
  • Тимошенков Сергей Петрович
  • Былинкин Сергей Федорович
  • Рубчиц Вадим Григорьевич
  • Калугин Виктор Владимирович
  • Глазков Олег Николаевич
RU2423668C1
ИНТЕГРИРУЮЩИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ВИБРАЦИОННЫЙ ГИРОСКОП 2005
  • Плеханов Вячеслав Евгеньевич
  • Анчутин Степан Александрович
  • Зотов Сергей Александрович
  • Тимошенков Сергей Петрович
  • Рубчиц Вадим Григорьевич
  • Шилов Валерий Федорович
  • Максимов Владимир Николаевич
  • Лапенко Вадим Николаевич
  • Тихонов Владимир Анатольевич
  • Калугин Виктор Владимирович
RU2296300C1
Микромеханический акселерометр с низкой чувствительностью к термомеханическим воздействиям 2020
  • Косторной Андрей Николаевич
  • Миронов Сергей Геннадьевич
  • Аксенов Константин Сергеевич
  • Брыкало Сергей Сергеевич
  • Ткачев Александр Вячеславович
  • Кашаев Александр Александрович
  • Малыгин Сергей Владимирович
RU2746762C1
МИКРОВАКУУММЕТР 2021
  • Волкова Екатерина Ивановна
  • Попков Сергей Алексеевич
RU2774181C1
КОСМИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ПРИРАЩЕНИЯ СКОРОСТИ 2012
  • Афанасьев Сергей Михайлович
  • Анкудинов Александр Владимирович
RU2524687C2
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ДАТЧИК УГЛОВОЙ СКОРОСТИ 2009
  • Скалон Анатолий Иванович
  • Тыртычный Алексей Анатольевич
RU2410701C1
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ МАЯТНИКОВЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР 2013
  • Юрманов Сергей Юрьевич
  • Денисов Роман Андреевич
  • Макарова Наталья Юрьевна
  • Мальков Василий Юрьевич
  • Шимин Михаил Викторович
  • Коновалов Сергей Феодосьевич
  • Майоров Денис Владимирович
  • Пономарев Юрий Анатольевич
  • Шабаев Виктор Иванович
  • Подчезерцев Виктор Павлович
RU2543708C1

Иллюстрации к изобретению RU 2 379 630 C1

Реферат патента 2010 года ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА УГЛОВОЙ СКОРОСТИ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения. Чувствительный элемент содержит закрепленную на неподвижном основании опорную рамку, закрепленные на ней через упругие подвесы кольцо (подвижная масса) с одной стороны, и с другой стороны кольцо (подвижная масса). Упругие элементы являются одинаковыми. Подвижные массы, равные по величине, выполнены за одно целое с упругими элементами из пластины монокристаллического кремния, ориентированной в кристаллографической плоскости 100, возможно также применение плоскости 110. Введение дополнительного кольцевого резонатора, возбуждение обоих резонаторов в противофазе позволяет повысить добротность за счет уменьшения потерь энергии и уменьшения влияния возмущающих факторов и повысить точность. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 379 630 C1

Чувствительный элемент датчика угловой скорости, выполненный на подложке монокристаллического кремния, в котором сформирован кольцевой резонатор, поддерживаемый радиально податливыми упругими подвесами, которые прикреплены к внешней опорной рамке, отличающийся тем, что дополнительно введен чувствительный элемент кольцевого типа, соединенный с основным чувствительным элементом упругими подвесами через опорную рамку, расположенную между ними.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 2010 года RU2379630C1

HOPKIN I
Performance and Design of Silicon Micromachined Gyro
Symposium Gyro Technology, Germany, 1997, p.1.0-1.10
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА 2005
  • Былинкин Сергей Федорович
  • Миронов Сергей Геннадьевич
RU2301969C1
СЕВЕРОВ Л.А
и др
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ: КОНСТРУКЦИИ, ХАРАКТЕРИСТИКИ, ТЕХНОЛОГИИ, ПУТИ РАЗВИТИЯ
ИЗВ
ВУЗОВ, 1998, Т.41, № 1-2, С.57-72
US 5911156 А, 08.06.1999
JP 2001304869 A, 31.10.2001.

RU 2 379 630 C1

Авторы

Тимошенков Сергей Петрович

Миронов Сергей Геннадьевич

Шилов Валерий Федорович

Былинкин Сергей Федорович

Анчутин Степан Александрович

Бритков Олег Михайлович

Даты

2010-01-20Публикация

2008-10-16Подача