Способ изготовления цилиндрических магнитных пленок Советский патент 1983 года по МПК G11C11/14 

to

4

СО Ob СП Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано при изготовлении запоминающих устройств на цилиндрических магнитных пленках (ЦМП). По авт. св. 970468 известен способ изгот.овелния ЦМП, основанный на электролитическом осаждении немагнитной основы на подложку носитель и электрополировании нема нитной основы, электролитическом осаждении слоя ферромагнитного спл ва и получении требуемых значений магнитного потока насшдения, козффийиента магиитострикции и коэрцитивной силы ЦМП путем регулирования соответственно электрического тока, температуры осаясдения слоя ферромагнитного сплава и электрического тока электрополирования не магнитной основы по результатам сравнения магнитного потока насыщения, коэффициента магнитострикции и коэрцитивной силы с эталонными величинами ij . Недостатком известного способа является неудовлетворительная наде ность, обусловленная тем, что для получения заданной величины шерохо ватости поверхности немагнитной ос новы, обеспечивающей высокие значе ния коэрцитивной силы слоя феррома нитного сплава, требуются большие величины электрического тока полирования немагнитной основы, что приводит к потерям материала HSMair нитной основы с подложки-носителя формированию дефектов на поверхности немагнитной основы. Цель изобретения - повышение на дежности способа изготовления цилиндрических магнитных пленок. Поставленная цель достигаете тем, что согласно способу изготовления цилиндрических магнитных пленок электролитическое осажДение немагнитной основы осуществляют в пирофосфатной ванне с добавками спирта, лимонной кислоты и хлористого магния при плотности тока 10 5-Ю А/м2 до образования слоя меди толщиной не более 3 мкм, электрополирование поверхности немагнитной основы осуществляют в фосфорнокислом растворе с добавками хромовой кислоты при 25 - 65°С и при плотности тока до 9,5-10 А/м, а осаждение слоя ферромагнитного сплава осуществляют при плотности {гока величиной не менее 5% и не более 50% от вели- . чины плотности тока электррлитичес-, кого осаждения немагнитной основы. При плотности электрического тока осаждения ферромагнитного сплава ВЕЛИЧИНОЙ менее 0,05 плотности электрического тока осаждения немагнитной основы необходимо для достижения эта- лонных величин контролируемых параметров цилиндрической магнитной пленки уменьшать скорость движения подложки-носителя в электролите, что приводй к снижению производительности процесса изготовлен1 я ЦМП. При больших плотностях электрического тока осаждения немагнитной основы образуется пористость и высокая газонасваценность Немагнитной основы, что существенно ухудшает выходные характеристики ЦМП.. , Испытания предлагаемого способа изготовления ЦМП показали, что выход годовых изделий увеличивается в. 1,3 раза по сравнению с известным способом. Тем САМИМ надежность способа существенно увеличивается.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ МАГНИТНЬК ПЛЕНОК по авт. св. 970468 о т л и ч а ю щ. и и с я тем, ,чтo, с целью повьпиения надежности способа, электролитическое осаждение немагнитной основы осуществляют в пирофосфат- , ной ванне с а,о(а.ъкаук спирта, лимэннрй кислоты и хлористого магния при плотности тона Ю - 5 -Ю А/м до об1)азований слоя меди толщиной не более 3 мкм,,электрополирование поверхности немагнитной основы осуществляют в фосфорнокислом растворе с добавкаъО кислоты при 25 - и, при плотности тока до 9,5-10 А/м, а осаждение слоя ; ферромагнятйого сплава осуществляют при плотности тока величиной не менее 5% и не боЛее 50% от величины .плотности тока электролитического осаждения немагнитной основы.