Способ изготовления герметичного проходника Советский патент 1983 года по МПК H01B19/00 

Изобретение относит к электроФекнике и может быть применено в ва ккумной технике при создании устг ройств для передачи электрических сигналов через гермоперегородки. Известны различные способы создания герметичных проходников путем 8пая вводов (шткфей) в изолятор из стекла и керамики с применением припоев 11. Недостатком известных способов яв ляется низкий коэффициент испояьэова вй« дорогоетояа их прецизионных сплав иа с заданн № коэффицссентом линеййого термического расширения из-за того что до 70% материала уходит в при изготовлении вводов точа киём. Наиболее близким техническим реше №К$М к пред лаг: аемому является способ иэготовления герметичного проводника аа1 слкгчако1Ийся в установке корпуса на оснастке, разм««ении в корпусе изоля тора с отверстиями, герметичном за{ { яленив в последних контактньос эле («йнтов с последующим снятием корпуса с оснастки. При этом используют пригаой, который располагают мёжяу жестким контактом и керамикой. Зачастую используется для спаев металлизированная керамика {2. Строгий учет коэффициентов линейного теЕмлического расширения такого количества примененных материалов возможен, но прочность таких анйжается из-за колебания значений коэффициентов линейного термического С1Шр$яия в различных партиях примененных материалов, вследствие чего герметичтле проходники, изготовленные по известному способу со време- нЗм герметичность, т.е. являются ненадежными. Цель изобретения - повышение надежности. Поставленная цель достигается тек что в способе 1зготрвления герметичного проходника, заключающемся в установке корпуса на оснастке, размеще НИИ в корпусе изолятора с отверстиями/ герметичном закреплении в послед них контактных элементов с последующим снятием корпуса с оснастки, в качестве материала контактного элемента используют адгезионно-активный припой, герметичное закрепление контактов осуществляют размещением дозированного количества проволоки из припоя в отверстиях изолятора, нагре вом ее до температуры расплавления припоя, заполнением отверстий расплавленным припоем и последующим его | охлаждением. На фиг. 1-3 представлены этапы изготовления герметичного проходника. Герметичный проходник состоит из Корпуса 1, изолятора 2 и контактного элемента 3. Соединение корпуса 1 с изолятором 2 может быть выполнено одновременно с закреплением контактного элемента 3 в изоляторе 2. Способ осуществляется по следующим этапам сборка пакета деталей проходника для спая, проведение спая, разборка пакета, зачистка (при необходимости) и проверка герметич ности. При сборке пакета детали проходника устанавливают на оснастКу подставку 4. Затем в отверстия 5 изолятора 2 вставляется необходимое для образования контактного элемента 3 количе- , сТВо проволоки 6. В частном случае за счет изменения конфигурации подставок оснастки контактные элементы могут полностью копировать конфигурацию контактных элементов, получаемую точением из пруткового материала. Далее пакет помещается в вакуукаг. ную иечь, в которой создается вакуум не менее 21Сгмм рт.ст. и температу-; ра ТОО-ИООС в зависимости от рабочей температуры герметичного прохождения, где происходит герметичное соединение элементов проходника. После проведения спая, т.е после оформления вводов и создания герметичности, температура в печи снижается, вакуум снимается и пакет извлекается из ne4ja. ВЕметичный прохсдник снимается с подставки 4, очищается (при необходимости) и направляется на проверку .герметичности. Преимущество предлагаемого способа заключается в закреплении и формировании контактного элемента в отверстии изолятора из проволоки адгезионнрактивного припоя (сплава) с одновременным созданием герметизации. При этом могут быть применены изоля- торы без учета Коэффициентов линейного термического расши15ения, Исключается необходимость применения лиш него металла в спае керамики с вводом в известных способах кроме ввода должен быть припой. Отпадает необходимость в точном изготовлении отверстий, в тгисом труднообрабатываемо материале как керамика.

акпи л iiniii,

IIIII1: -«.

Срие.З