ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ Советский патент 1971 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к способам нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий дуговые электроды и поджигающий электрод.

С целью предотвращения загрязнения наносимых покрытий, в предложенном испарителе один из дуговых электродов выполнен с полостью, внутри которой жестко закреплен поджигающий электрод.

На чертеже представлен общий вид испарителя.

Он состоит из дуговых электродов / и 2 и поджигающего электрода 5. Дуговой электрод 2 выполнен с полостью, внутри которой жестко закреплен поджигающий электрод 3.

Дуговой электрод / представляет собой стержень из материала покрытия и располагается над дуговым электродом 2. Поджигающий электрод представляет собой вольфрамовую проволоку или спираль и крепится с помощью токоподводов 4 к изоляционному основанию 5.

Изоляционное основание со смонтированными на нем поджигающим электродом закрепляется в полости дугового электрода 2 так, что поджигающий электрод находится в полости и полностью ограничивается от окружающего пространства стенками электрода 2 и изоляционным основанием.

Боковая поверхность дугового электрода 2 касается рубащки 6, по которой циркулирует охлаждающая жидкость. На дуговые электроды 1 и 2 подается напряжение 3000-4000 в промышленной частоты. Через поджигающий электрод пропускается ток 100-200 а, электрод разогревается и нагревает неохлаждаемую верхнюю часть дугового электрода 2.

Нагретая поверхность дугового электрода 2 эмиттирует электроны, которые бомбардируют дуговой электрод / в тот полупериод высокого напряжения, когда он находится под положительным потенциалом, и разогревают его.

Во второй полупериод высокого напряжения эмиттируемые дуговым электродом 1 электроны бомбардируют дуговой электрод 2, верхняя часть которого разогревается. Через

некоторое время (1-2 мин) оба электрода разогреваются до температуры, близкой к температуре плавления материала. В промежутке между ними в парах испаряемого металла образуется большое количество ионов,

что обеспечивает возможность возникновения самостоятельного дугового разряда. Этот момент фиксируется по резкому падению напряжения на киловольтметре, после чего поджигающий электрод отключается. ЭкранироHocfb предотвратить загрязнение наносимого покрытия.

Предмет изобретения

Электродуговой испаритель металлов, содержащий дуговые электроды и поджигающий электрод, отличающийся тем, 4to, с целью предотвращения загрязнения наносимых покрытий, один из дуговых электродов выполнен с полостью, внутри которой жестко закреплен поджигающий электрод.