Способ соединения стекла с металлом Советский патент 1983 года по МПК C03C27/02 

{

4

35 Изобретение отнисится к полупроводниковой технике, конкретно к способам получения спаев между стеклом и различными материалами, в частност сталью и коваром. Известен способ изготовления узло из стекла и ковара, включающий никел рование ковара на участках, не подле жащих спаиванию со стеклом, на толщи ну 18-2 мкм, обезгаживающий отжиг и спаивание ковара со стеклом, приче спаивание ведут в защитной среде при 9 0-1000°С в течение 5-10 мин, а охлаждение до 650-700 С осуществляют в защитной среде, после чего в среде водорода l . Данный способ трудоемок, так как имеет место предварительная металлизация, а для осуществления способа используют защитную среду и среду водорода„ Наиболее близким к предлагаемому является способ соединения металла со стеклом, включающий изготовление стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрев и последующее охлаждение сборки 2. Известный способ предназначен для соединения стекла с одинаковыми по КТР металлами. Цель изобретения - повышение качества одновременного спая стекла со сталью и коваром. Поставленная цель достигается тем что согласно способу соединения стек ла с металлом путем изготовления сте лянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлажде ния металлостеклянной сборки, стеклянную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширения (8-52) /10 1/град.,нагрев осуществляют до температуры 1000-1020 0 в течение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3С/мин до 200-250 0, а затем с выключенной печью. На чертеже представлена схема, поясняющая предлагаемый способ. Пример 1. Собранный и установленный в графитовую касСету узел, содержащий стеклотаблетку 1 из стекла марки С k8-2 (ост 11027.010-75), обечайку 2 из стали и гермоввод 3 из ковара, помещают в холодную герметичную печь сопротивления. Нагрев ведут до 1000 С в течение 1,5 ч. Делают еыдержку при этой температуре в течение 15 мин, далее снижают температуру до 200 С со скоростью 2 С/мин, а затем ведут охлаждение вместе с выключенной печью. Пример 2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1. Нагрев осуществляется до 1020С в течение 2 ч, далее следует выдержка при этой температуре в течение 5 мин, затем заваренный узел охлаждают до со скоростью 3 С/мин, а далее вместе с выключенной печью. Полученные спаи обладают следующими свойствами: Термостойкость спая, С 200 Вакуумная плотность 10-10 спая, торр Механические испытания:вибропрочность Все спаи в диапазоне сохранили частот 10-2000 Гц герметичи ускорение 15 g ность в течение 5 ч термоциклирование То же от +100 до - 60°С (5 циклов) Использование предлагаемого способа позволит упростить технологию изготовления полупроводниковых приборов, повысить их-термостойкость и герметичность.

СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ путем изготовления стеклянной заготовки по порошковой технологии, нагрева и последующего охлаждения металлостеклянной сборки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества одновременного Слая стекла со сталью и коваром, стеклянную заготовку изготавливают из стекла молибденовой группы с коэффициентом термического расширения () 10 1-/град., нагрев осуществляют до температуры 1000-1020 с в течение 1,5-2 ч, выдерживают при этой температуре 5-15 мин, после чего охлаждают со скоростью 2-3°С/мин до 200-250 С, а затем с выключенной печью.