Стекло Советский патент 1983 года по МПК C03C3/10 

4 О)

to

О

со

Изобретение относится к технол гии силикатов и предназначается для использования его в электронике .р качестве износостойкого диэлектрика в микросхемаз специального назначения, Известно стекло, содержащее, мае. %: Si02 45,5-47,5; AfjO ,3; . 6,0-7,0; ВаО .35,2-39,1 Ги. .. ;.: , Это стекло,из-за повышенных значений коэффициента тепловогорасширения и температуры.размягчения при формировании рельефа, на подложках из стекла СТ-50 с КТР 52 не позволйет получать покрытие без трещин и деформации ситалловой подложки при обжиге- покрытия. . Наиболее близким к изобретению. является стекл о, включающее, мас.%: SiOy 47 , ff-49,9; B-fiOg 9,7-13., 5; 10,,0-10,5; ВаО 28,7-29,9 I2j. Данное стекло ло основным физико-химическим свойствам удовлетворяет требованиям для получения соэм стимого с ситалловой по;Е1Пожкой из СТ-50 проплавленного при стеклообразного покрытия. Однако из-за .низкой адгезии этого стекл.а к станватной пленке, когорая: должна наноситься на сформи-г ованнре по ситаллу стеклЬобраэ ное окрытие, образует слабое .сцепле- . ие с указанной пленкой и вследстие этого не может быть использовано в качестве материала рельефа в пае со Sn02 припроизводстве микросхем спецназначения Цель изобретения - улучшение адгезии стекла к станнатной пленке. Поставленная цель дос-тигается тем, что. стекло, включающее SiO., БгОз Af-jO -, ВаО, дополнительно со- держит SnQj2 и СаО при следующем соотношении компонентов, мае. %: Введение SnO и СаО позволяет улучшить адгезию стеклак станнатной пЛенке за счет увеличения химического сродства между оловосодергг жсмцим стеклом и пленкой из SnOj и снижения его вязкости с помощью Добавки СаО.. Конкретные составы стекол и их свойства представлены в таблице. : /

СТЕКЛО, включакшее SiO, BjO ВаО, от ли ч а ю щ е е с я тем, .что,-с целью улучпюиия гщгезии стекла к станнатной пленке, оно дополнительно содержит SnO и °СаО при следующем соотношении компонентов, мае. %: 43-45 Si0.a 15-17 B.Om 9-10 25-27 Вас 1-2 ЗпОл СаО 2-3 g

:45,0

,0 : -ВзОз .

9,0

А%ОЗ

26,0

ВаО

2,0

СаО

2,0

5пО«

1500

Температура варки, С

Тейпература выработ-.с ки,

1300

Температура размяг- чения, С670ЛО

Температура получения проплавленнбго покры- тия, V

4Г7,8-49,9

53,0

9,7-13,5

15,0

10,0-10,5

10,0

28,7-29,9

27,0

3,0

2,0

1500

1500

1500

1300

1300

1300

б7.Oil О

670flO

820

800110

Кристаллизационная способность, с

Ко Ффициелт теплового расяиирения d-lO,

Удельное электрическое сопротивление при .300 С, Ом-см

Химическая устойчи-1 вость -(потери массы) по отнсшению к

Продолжение таблицы

;Не кристаллизуются

SOfl

48tl

SOfl

5011

io

.10

12

10