Электролит для получения покрытий из сплавов теллура Советский патент 1983 года по МПК C25D3/56 

4

а со

ili

:о Изобретен1 е относится к электролитическому получению сплавов, в частности сплавов теллур - германий которые могут быть использованы в полупроводниковой технике. Известен щелочной электролит для осаждения покрытий, содержащиз герм ний, причем германий вводят враствор в виде двуокиси германия 1 . Однако этот электролит не позволяет получить сплав теллур - германий . Известен электролит для получения сплава германия с железом с использованием в качестве соединения германия двуокиси германия 2.J. Однако данный электролит также не дает возможности получить сплав теллур - германий. Наиболее близким к изобретению является электролит для получения сплавов, теллура, в частности свинец - теллур, содержащий, двуокиси теллура и свинц а, гидроокись калия, виннокислый натрий и глицерин СЗ. Недостатком известного электроли та является то, что он не позволяет получить сплав теллур - германий с полупроводниковыми свойствами. Целью изобретения является получение плотных кристаллических покрытий с полупроводниковыми свойств ми за счет образования сплава теллу ра с германием. Цель достигается тем, что электр лит для получения покрытий из сплавов теллура, содержащий двуокиси те лура и соосаждаемого металла, гидро окись натрия и винную кислоту, допо нительно содержит гидроокись аммони а в качестве двуокиси соосаждаемого металла - двуокись германия при сле дующем соотношении компонентов, моль/л: 0,05-0,090 . Двуокись германия 0,009-0,05 . Двуокись теллура Гидроокись натрия 1,5-2 0,4-0,5 Гидроокись аммония 0,3-0,5 Винная кислота Электролиз проводят с анодами из платины, а в качестве катодов никелевая или медная пластинка. Качественные, т.е. беспористые и хорошо сцепленные с поверхностью подложки осадки получаются при. плотностях то ка 3-10 МА/см2, суммарной концентра ции компонентов 0,1 моль/л, соотношении компонентов равных 1:10:1. Гидроокись натрия используют для растворения двуокиси теллура. Гидроокись аммония повышает раст воримость двуокиси германия. Винную кислоту используют в качестве комплексообразующей добавки. Наилучшие по механическим и элек рофизическим свойствам осадки получаются в случае, когда суммарная концентрация двуокиси германия и дв окиси теллура составляет 0,1 моль/л. Верхний предел концентрации двуоки- ( сей германия и теллура обусловлен их растворимостью. Варьируя содержание германия и теллура в сплаве можно получить покрытия с заданными сочетаниями электрофизических параметров. Так, увеличение содержания германия в сплаве приводит к росту его сопротивления и снижению темнового тока. Наоборот, повычением содержания теллура в сплаве можно получить устройства, работающие при более высоких величинах силы тока. Электролит готовят следующим образом. Сначала в расчетном количестве NaOH растворяют Те02, ПОТОМ в нее добавляют .и так как GOj быстро растворяется в присутствии нашатырного спирта, после растворения GeOj добавляют винную кислоту. Предлагаемый электролит позволяет получать покрытия из сплавов теллур германий толщиной 2-15 мкм, не от.слаивающиеся от подложки и нераст. рескиваюииеся. Содержание германия в сплаве меняется от 30 до 70%. Пример 1. Из электролита состава, моль/л: GOg 0,05, Те02 0,05, , 0,3, NH40H 0,4, NaOH 1,5, при соотнощении компонентов 1:1, плотности тока 3 МА/см и 20°С получают осадок состава, вес.%: Ое 20, Те 80, В течение 30 мин, толщина пленки имеет 2,3 мкм. Осадок сплава обладает р типом проводимости, имеет удельное сопротивление 4 10 Ок.-см, обладает хорошей адгезией, беспористый, выход по току сплава составляет 65%. Пример 2. Из электролита состава, моль/л: G02 0,08, Те02 0,02, 0,38, 0,4, NaOH 1,7 при соотношении компонентов GeOj: 160, 4:1, при плотности тока 5 МА/см и 50°С, получают осадок состава, вес.%: Ge 45, Те 55 в течение 30 мин, толщина пленки 7,6 мкм. Осадок сплава обладает р типом проводимости, имеет удельное сопротивление 7, Ом-см, обладает хорошей адгезией, беспористый, выход по току сплава составляет 50%. Пример 3. Из электролита состава, моль/л: G02 0,0909, Те02 0,009, 0,5, 0,5, NaOH 2, при соотношении компонентов Ge02:Те0 10:1, при плотности тока 10 МА/см и 50°С получается осадок состава вес.%: Ое 70, Те 30 в течение 30 мин, толщина пленки 15,1 мкм. Осадок сплава обладает р типом проводимости, имеет удельное сопротивление 1,3-Ю Ом «см, обладает

хорошей адгезией, беспористое, выход по току составляет 40%.

Электроосаждёние покрытий сплавом теллур - германий во всех примергис проводили на медной и никелевой подложках.

Прочность сцепления покрытия с подложкой определяли методом нанесения сетки царапин.

Пористость определяли методом наложения фильтровальной бумаги. Практически беспористые покрытия получали при осаждении с/1лгш а .толщиной выше 2 мкм. Рен сгенографическим ангшиэом установлено, что полученные слои имеют кристаллическую структуру. ,

Как видно из приведенных данных, предлагаемый электролит обеспечивает получение покрытий сплавами теллур - германий с различным содер анием компонентов сплава, отличающихся высокой плотностью и адгезией с основой, являющихся практически беспофистыми и обладающими полупроводниковыми свойствами, что позволяет использовать изобретение в полупроводниковой технике, например, для изготовления фоторезисторов и в других полупроводниковых устройствах.

ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ СПЛАВОВ ТЕЛЛУРА, содержащий двуокиси теллура и соосаждаемого металла-, гидроокись натрия и винную кислоту, отличающийс я тем, что, с целью получения плотных кристаллических покрытий с полупроводниковыми свойствами за счет образования сплава теллура с германием, он дополнительно содержит гидроокись аммония, а в качестве двуокиси соосаждаемого металла - двуокись германия, при следующем соотношении компонентов, моль/л: 0,05-0,0909 Двуокись германия 0,009-0,05 Двуокись теллура 1,5-2 Гидроокись натрия I Гидроокись 0,4-0,5 a фюния СИ 0,3-0,5 Винная кислота