Фильтр для очистки воздуха Советский патент 1983 года по МПК B01D46/00 

2. Фильтр ПОП.1, отличающийся тем, что, в качестве фильтрующего наполнителя первого по ходу газа цилиндра используют пористую промасленную керамическую гранулу.

3. Фильтр ПОП.1, отличающий с я тем, что в качестве фильтрующего наполнителя второго по ходу газа цилиндра используют хаотически расположенные ленты из фильтроваль-. ной бумаги.

1. ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ВОЗ- . ДУХА, содержащий корпус с входными таигенциальными патрубками и фильт- рующий элемент, отличаю; :1ч;®м 1 г Е II f m4 im mMUQimt щийся тем, что, с целью повышения степени очистки воздуха,фильтр. снабжен коническими отбойниками,четные по ходу газа из которых снабжены установленными по оси и заполненными фильтрующим наполнителем цилиндрами с сетчатыми торцовыми стенками, при этом первый нечетный по ходу газа отбойник снабжен цилиндрической жалюзийной решеткой, укрепленной на основании,а второй нечетный выполнен с окнами, в которых укреплен фильтрующий элемент. СО 4 СО со

f

Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию и может быть использовано в установках для очистки воздуха, входящих в комплекс оборудования для производства микросхем.

Известен фильтр для очистки воздуха, содержащий корпус с входными тангенциальными патрубками и фильтрующий элемент Cl

Недостатком известного фильтра является низкая степень очистки воздуха.

Цель изобретения - повышение степени очистки воздуха при сохранении минимальных габаритов фильтра.

Указанная цель достигается тем, что в фильтре для очистки воздуха, содержащем корпус с входными тангенциальными патрубками и фильтрующий элемент, снабжен коническими отбойниками, четныепо ходу газа из которых снабжены установленными по оси и заполненными фильтрующим наполнителе;м цилиндрагли с сетчатыми торцовыми стенками, при этом первый не четный по ходу газа отбойник снабжен цилиндрической жалюзийной решеткой, укрепленной на его основании, а второй нечетный выполнен с окнами, в которых укреплен фильтрующий элемент.

Целесообразно в качестве фильтрующего наполнителя первого по ходу газа цилиндра использовать пористую промасленную керамическую гранулу, а в качестве фильтрующего 11аполнителя второго по ходу газа цилиндра использовать хаотически расположенные ленты из фильтровальной бумаги.

На фиг. 1 изображен предлагаемый фильтр, вид в плане; на фиг. 2 - разрез на фиг.1.

Фильтр включают корпус 1. с тангенциальными патрубками 2, конический отбойник 3 с цилиндрической жалюзийной решеткой 4. Четный пЪ ходу газа конический отбойник 5, по оси которого установлен цилиндр б с сетча-

тыми торцовыми стенками, заполнен промасленной керамической гранулой 7, Один тореццилиндра б входит в полость ступени глубокой очистки, с. сформированную отбойником 8, в окнах которого установлен фильтрующий элеме нт 9 в виде тканевой сетки. Конический отбойник 10 (вторая ступень очистки) имеет цилиндр 11, заполненный хаотически расположенными лентами 12 из фильтровальной бумаги. Оба торца цилиндра закрыты крупноячеис, той сеткой 13.

Фильтр работает следующим образом.

5 По тангенциальНЕлм патрубкам 2

воздух попадает на конический отбойник 3, проходит через цилиндрическую жалюзийную решетку 4, при этом частицы пыли, обладая большой кине20 тической энергией, отражаются от решетки 4 и попадают в кольцевой канал отбойника 5, а воздух всасывается в цилиндр 6, где соприкасаясь с промасленной гранулой из по25 ристой керамики 7, очищается от частиц пыли меньшей фракции. Из цилиндра 6 воздух проходит через окна отбойника 8, в которых установлен фильтрующий элемент 90 очищающий .

30 воздух от влаги и масляной пыли. Пройдя окна в отбойнике 8, воздух по каналу, образованному формирую, щими поверхностями отбойников 8 и 10, попадает в цилиндр 11, где, соприкасаясь с фильтровальной бумагой лент 12, очищается от пылевых частиц самой мелкой фракции. Крупноячеистые сетки 13, концентрируют ленты 12 в минимальном объеме. :

40 Применение предлагаемого фильтра позволяет значительно улучшить степень очистки воздуха в линиях пылезащиты комплексов специального технологического оборудования для

45 фотолитографии. Экономический эффект получают за счет осуществления двухступенча ой очистки.

/ /