Дозатор парогазовой смеси Советский патент 1984 года по МПК C01F11/28 

Изобретение относится к дозированию материалов и может быть использовано при металлировании из парогазовой фазы, а также, для получения полупроводниковых материалов, Известен дозатор паров жидкости, состоящий из сосуда с отверстием дл заливки диффузанта, трубок ввода газа-носителя и вывода парогазовой смеси Г1. Но в этом дозаторе насыщение пузырьков резко изменяется при различных расходах. Наиболее близким к изобретению является дозатор парогазовой смеси, содержащий емкость, заполненную жидКОСТЬЮ, в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа 5. Недостатком известного дозатора является невозможность примен ения одного и того же дозатора в установках, работающих на различных скоростях расхода га а-носителя .в связи с тем, что он не обеспечивает стабиль,ную концентрацию состава парогазовой смеси. Целью изобретения является обеспе чение стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода газа. Поставленная цель достигается тем, что в дозаторе парогазовой смеси, содержащем емкость, заполненную жидкостью, в верхней части имеется отверстие для выхода паро-, газовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа, причем каналы выполнены в виде расположенНЕлх по спирали на конической поверхности распределителя отверстий, а угол конуса ot при основании выбран в пределах О csC 20°. На фиг. 1 схематически изображен дозатор; на фиг. 2 - то же, при повышенном расходе газа; на фиг.З разрез А-А на фиг.2. Дозатор состоит из емкости 1, которая закрывается крышкой 2. Распределитель 3 цилиндрической частью вмонтирован в крышку 2 и представляет с ней единое целое. Отверстия в конусной части распределителя 3 расположены по спирали, а угол конуса об при- основаниилежит в пределах О ci. 20°. , Дозатор работает следующим образом. При установившемся расходе газаносителя уровень диффузанта 4 в распределителе 3 занимает определенное положение, соответствующее требуемой для данного расхода газа-носителя величины активной зоны. В этом случае газ-носитель проходит только через те отверстия, которые лежат выше установившегося уровня диффузанта. Увеличение (уменьшение ) скорости расхода газа-носителя приводит к самопроизвольному понижению (повышению ) уровня диффузанта внутри распределителя 3. При этом величина активной зоны увеличивается (уменьшается ) строго пропорционально изменению скорости расхода газа-носите-ля, причем саморегулирование величины активной зоны происходит плавно, так как отверстия в распределителе расположены по спирали. В связи с тем, что конечной величине скорости расхода газа-носителя соответствует вполне определенная величина активной зоны, скорость газового потока в объеме диффузанта поддерживается стабильной, а состав парогазовой смеси на выходе из дозатора П15актически не меняется.

ДОЗАТОР ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ, содержащий емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода, газа, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода газа, каналы выполнены в виде расположенных по спирали на конической поверхности распределителя отверстий , а угол конуса oL при основании выбран в пределах О об 1 20°. ел А Ф