Дозатор парогазовой смеси Советский патент 1985 года по МПК G01F11/28 

Изобретение относится к области дозирования и может быть использовано при металлировании из парогазовой фазы, а также для получения полупроводниковых материалов.5

По основному авт.св. № 1065690 известен дозатор парогазовой смеси, содержащий емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой JQ смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа, которые вьшол- нены в виде расположенныхпо спирали на конической поверхности распредели тепя отверстий, а угол конуса при основании выбран в пределах . 20 l . Однако известный дозатор имеет недостаточную точность дозирования за счет значительного брызгоуноса, свойственного всем насытителям барботажного типа. Цель изобретения - повышение точности дозирования. Поставленная цель достигается тем, что в дозатор парогазовой смеси введены кольца, переточная труба и перевернутая воронка, размещенная на уровнем жидкости, закрепленная герме тично большим основанием внутри емкости и образующая с крышкой камеру расширения, причем между цилиндрическими частями перевернутой воронки и распределителя образован кольцевой зазор с площадью, равной площади сечения цилиндрической части распределителя, коаксиально которому снизу крышки герметично прикреплены кольца с зазором относительно друг друга, емкости и перевернутой воронки, при этом выходной патрубок размещен за периферийным кольцом, а нижние части камеры.расширения и емкости сообщены переточной трубой. На чертеже представлен дозатор парогазовой смеси, общий вид. Дозатор содержит емкость 1, установленный в нем конический распределитель 2 с цилиндрической 1астью 3. Емкость 1 закрыта крышкой 4 с выходным патрубком 5. К стенкам емкости 1 над уровнем-жидкости 6 герметично крепится большим основанием перевернутая воронка 7, образующая с крьпякой 4 камеру 8 расширения. Цилиндрическая часть воронки опоясывает цилиндрическую часть 3 распределителя 2 . На крьшже 4 концентрично монтируются кольца 9-12 с зазором относительно друг друга, емкости и перевернутой воронки, высота которых постепенно увеличивается по мере приближения к стенкам емкости 1. Камера 8 расширения разделена кольцами 9-12 нэ зоны 13-16. За наибольшим периферийным кольцом 12 располагается выходной патрубок 5. Нижние части камеры расширения и емкости сообщены переточной трубой 17. Парогазовая смесь на выходе из распределителя 2 имеет в своем составе капельки дозируемой жидкости, количество которых увеличивается с увеличением расхода газа-носителя, хотя скорость газа на выходе из распределителя остается постоянной в широком диапазоне расходов газа-носителя. Поступая в кольцевой зазор между цилиндрическими частями распредехштеля и воронки (суженное сечение) , скорость парогазовой смеси увеличивается до скорости газа-носителя в цилиндрической части 3 распределителя 2 (площади сечения равны), капельки жидкости коагулируют вследствие их сближения и контакта со стенками распределителя 2 и воронки 7. Попадая в зону 13, парогазовая смесь теряет скорость вследствие расширения объема и по мере ее движения к выходному патрубку 5 капельки жидкости оседают на поверхности колец 9-12 и, укрупняясь, стекают на поверхность воронки 7 и попереточной трубе возвращаются в емкость. Использование изобретения позволяет практически исключить содержание капель жидкости в парогазовой смеси, что повысит томность дозирования.

ДОЗАТОР ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ по авт.св. № 1065690, о т л и ч а ющ и и с. я тем, что, с целью повышения точности дозирования, в него введены кольца, переточная труба и перевернутая воронка, размещенная над уровнем жидкости, закрепленная герметично большим основанием внутри емкости и образующая -с крышкой камеру расширения, причем между цилиндрическими частями перевернутой воронки распределителя образован кольцевой зазор с площадью, равной площади сечения цилиндрической части распределителя, коаксиально которому снизу крьш1ки герметично прикреплены кольца с зазором относительно друг друга, емкости и перевернутой воронки, при этом выходной патрубок размещен за периферийным кольцом, а нижКЛ ние части камеры расширения и емкости сообщены переточной трубой. 4 ОО О