Вакуумная камера для металлизации пластин Советский патент 1957 года по МПК C23C14/24 C23C14/50 

Вакуумные камерь для металлизации пластин известны. Особенностью описываемой камеры является установка в ней вращающегося барабана, между диском и кольцом которого по окружности размещены вращающиеся рамки с кассетами. Это позволяет производить металлизацию пластин с двух сторон без нарушения вакуума..

Вакуумная камера для металлизации пластин выполняется следую1ЦИМ образом.

В горизонтально расположенной цилиндрической камере / (см. чертеж) , из которой откачивается воздух с помощью форвакуумного и диффузионного насосов, помещают вращающиеся, соединенные между собой щестью стержнями 2 диск 3, сидящий па щпонке 4 валика механизма вращения 5, и кольцо 6, внутренней повер.хностью опирающееся на три ролика 7.

Диск и кольцо со стержнями представляют собой в целом вращающийся барабан, в который посредством отжимных пружин 8 во втулки 9 вставляются своими цапфами 10 щесть рамок //.

На каждой рамке укреплены ограничители 12 и 13, а на диске 5-

пружины 14 и 15, взаимодействующие с ограничителями при повороте рамок.

Пластины, подлежащие металлизации, укладываются в разъемные кассеты 16, которые в свою очередь закладываются в гнезда рамок У/ и запираются в них поворотными пружинами замками 17.

В результате смещения центра тяжести рамок // относительно оси их вращения, а также взаимодействия ограничителей 12, 13 с пружинами 14, 15, происходит последовательное поворачивание рамок с пластинами в кассетах на 180° под действием собственного веса при вращении барабана посредством маховичка 18 и горизонтальное распололсение рамок над центральным желобом-электроиспарителем 19. В последнем уложены кусочки металла, предназначенного для испарения- и осаждепия на пластинах.

Последовательными включениями электрической цепи нагрева жалоба 19, при созданном в камере соответствующем вакууме, обеспечивается покрытие металлом одной стороны пластин последовательно во всех щести рамках при поворотах барабана на 60° в одном направлении. При поворотах барабана в другом направлении металлом покрывается вторая сторона пласTJ:H.

Предмет изобретения

1. Вакуумная камера для металлизации пластин, отличающаяс я тем, что, с целью металлизации плас1ин с двух сторон без нарушения вакуума, в ней установлен вращающийся вокруг желоба-электроиспарителя барабан, между диском

и кольцом которого по окружности размещены вращающиеся вокруг своих осей рамки с кассетами-деталями, центр тяжести которых смещен так, что при вращении барабана и взаимодействии ограничителей на диске барабана и рамках последние переворачиваются на 180°.

2. В вакуумной камере по п. 1. применение разъемных кассет с отверстиями в основании и крыщке, соответствующими заданному контуру металлизации пластин (деталей).