Устройство для передачи пластин между конвейерами,расположенными на разных высотных уровнях Советский патент 1984 года по МПК B65G47/52 

0 Л со Изобретение относится к производ ству полупроводниковых приборов и материалов, в частности для создани автоматической линии производства пластин монокристаллического кремни Известно устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол .с ограничителями и механизмом перемещения СП. Недостатком данного устройства является повреждение пластин при передаче за счет возникновения удар ных нагрузок на пластину при подаче ее на подъемный стол, который выпо нен наклонным с неприводными ролика ми, и при разгрузке подъемного сто ла при его повороте. Известно также устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включгиощее размещенный . в вертикальном стволе подъемный ст с ограничителями С2Д, Недостатком данного устройства является повреждение пластин при их перемещении на подъемном столе по его роликам, а также трение пластин о ролики в процессе перемещения под емного стола, что вызывает поврежде ние пластин. Целью изобретения является сниже ние повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого мате риала Для достижения указанной цели в Устройстве для передачи пластин меж ду конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающем размещеннный в вертикальном стволе подъемный стол с ограничителями, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненных соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров, и в боковой стенке подъемного стола. На фиг, 1 показано предлагаемое устройство при перемещении пластин вверх; общий вид на фиг. 2 - то же, при перемещении пластин вниз. Устройство- состоит из вертикального ствола 1, который имеет загруаочный канал 2 и разгрузочный канал 3, которые выполнены в виде щели с размерами больше размеров перемещаемых пластин. Стенки ствола выполне ны с каналами 4 и 5, которые соединены с системой энергоносителя под давлением, например с системой сжатого газа через запорную арматуру, Вертикёшьный ствол также снабжен ограничителями 6 перемещения хода подъемного стола 7, Стол выполнен с полостью 8, которая через проточку 9, выполненную в боковой стенке подъемного стола и через каналы 4 и 5, выполненные в вертикальном стволе, в зависимости от положения стола может соединяться с системой сжатого, газ а, Прверхность стола 7 выполнена с отверстиями 10, расположенными наклонно. СЗтол выполнен по меньшей мере с двумя гнездами 11 с отверстием 12, в которых расположен ограничитель 13 со штоком 14,, который выполнен с возможностью свобод- ного пер емещения в отверстии, при этом высота ограничителя меньше выг соты гнезда, а размер ограничителя со штоком больше высоты стола. На поверхность стола подается пластина 15. Подъемный стол перемещается между расположенными на разных высотных уровнях подающим 16 и отводящим 17 конвейерами, .которые могут быть выполне-. ны ленточными. Стол 7 снабжен штоком 18, который соединен с механизмом продольного перемещения. Дно вертикального ствола выполнено с отверстиями 1.9. Каналы А и 5, выполненные в боковых стенках ствола, соединены с системой сжатого газа, например с системой сжатого воздуха через управляющие элементы 20 и 21, например электромагнитные вентили, а механизм продольного перемещения штока 18 выполнен в виде зубчатой рейки 22, с которой входит в зацепление шестеря 23 с приводом 24, например, в виде электродвигателя с реверсивным управлением. Устройство работает следующим образом. Открывают электромагнитный вентиль 21 и в каналы 4 подают сжатый газ, через проточку 9 поступающий в полость 8 подъемного стола 7, из которого через отверстия 10 поступает во внутреннюю полость вертикального ствола, в результате над столом 7 создается газовый поток, направленный от загрузочной щели к стенке. Подающим конвейером 16 подают пластину 15, которая перемещается в стволе 1, подхватывается потоком и перемещается до упора в ограничитель 13 (фиг. 1) или в ограничитель 6 (фиг, 21, Электромагнитный вентиль 21 перекрывают и прекращается поток газа через кангит 4 и проточку 9, полость 8 и отверстия-10, Пластина 15 плавно опускается на стол 7, Включают привод 24, который, вращая шестерню 23 через зубчатую рейку 22, расположенную на штоке 18, поднимает стол 7 (фиг. 1) Или опускает его (фиг, 2) до упора .в ограничитель 6 (фиг. 1) или лоднища (фиг. 2),

Проточка 9 совмещается с каналом 5, который электромагнитным вентилем 20 соединяют с системой сжатого газа. При подъеме стола 7 ограничители 13 опускгиотся в гнездо 11. Направленный поток газа, проходящий через канал 5 и проточку 9, полость 8 и отвеС стия 10, поднимает и перемещает пластину 15 через канал 3 на отводящий конвейер 17, который перемещает пластину на следующую операцию, Электромагнитный вентиль 20 закрывают, включают привод 24, который опускает (фиг. 1) или поднимает (фиг. 2) стол 7 за следующей пластиной.

На фиг. 1 и 2 показано,- для примера, два варианта механизма вертикального перемещения пластин. . .

Преимуществом изобретения является исключение соприкосновения пластины со стенками вертикального ствола, плавная, осторожная загрузка и выгрузка пластину что обеспечивает перемещение хрупких плАстин из полупроводникового материала. Более того, при герметизации подводящих 1 конвейеров и подаче очищенного инертного газа устройс:1во обеспечивает чисготу, стерильность атмосферы дпяпере/лещения деталей, что особенно важно при производстве полупроводниковых приборо

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикаль- . ном стволе подъемный стол с ограничителями, отличающееся тем, что, с целью снижения повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подъемного стола.

Фиг±

22