Способ нанесения покрытий в вакууме Советский патент 1992 года по МПК C23C14/24 C23C14/58 

Изобретение относится к области вакуумной технологии нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для защиты деталей от коррозии, повышение их износостойкости и др«

Известен способнанесения покрытий ;в вакууме в условиях ионной бомбардировки конденсата с независимым ускорением ионизованных частиц испаряемого материала.

Процесс нанесения сводится к протеканию взаимосвязанных физических процессов: конденсации, внедрения и распыления.

Однако при нанесении толстых слоев наблюдается снижение адгезионных свойств покрытия

Наиболее близким техническим решением из известных является способ нанесения покрытий на очищенную поверхность изделий путем испарения материала покрытия и осаждения ионизован- , ных частиц испаряемого материала с доускорением их к обрабатываемой поверхности за счет приложения разности потенциалов между источником испаре-; ния и подложкой

О 41

В результате нагрева при соударении ускоренных частиц с подложкой О Ю li между материалом покрытия и материалом подложки образуется сплав с.высокими адгезионными связями с основой

Недостатком известного устройства 00 является сложность технологического процесса, обусловленная наличием высокого напряжения, а также структурным изменением материала обрабатываемого изделия в результате его нагревао Снижение температуры нагрева за счет уменьшения ускоряющего напряжения уменьшает адгезионные свойства напыленных частиц, что влияет на качество покрытия

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, включающий очистку поверхности подложки, испарение материала покрытия и осаждение его на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий без структурных изменений обрабатываемой поверхности и упрощения технологического процесса, в процессе осаждения материала покрытия осуществляют обработку покрываемой поверхности дуговым разрядом, причем разряд возбуждают в парах автономного источника испарения