Стекло Советский патент 1984 года по МПК C03C3/10 

41

00

CD

Од Изобретение относится к технологи силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного легкоплавкого стекла, .предназначенного для использования его в микроэлектронике для герметизации толстопленочных конденсаторов . Для получения совместимых и не вступающих в химическое взаимодействие с материалами микросхем стекло образных покрытий коэффициент теплов го расширения стекла должен находить ся в пределах (50t5 )10 грац, температура размягчения - 520 t . Оптимальная температура обжига покры тия 7004:2и°С. Оптимальная температура обжига покрытия 700f20c. Известно стекло для защиты кремни вых пластин С11, включающее следующие компоненты, мас,%: ЗЮл 30-42, ВиОа 2-10, AloOg 4-15, РвО 35-45, Zn 8-15. Недостатком стекла является высокая температура варки () . иаиболее близким к предлагаемому является стекло 21 , включающее следу щие компоненты, мас.%: 50-60 4,5-22 6-15,5 Недостатком указанного стекла является высокий коэффициент, термичес-кого расширения 98-127,6 я низкая температура-размягчейия 318-366 С, Це.ти-. изобретения - снижение коэфФ.г,ианга термического расширения и повншечиа температуры разьтагченкя. Ког шоненты Содержан1-1е Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO, , BgOg, PbO, дополнительно содержит ZrO при следующем соотношении компонентов, мас.%: BiO 26-29 8-10 7-11 PbO 51-54 Для производства стекла используют обычную технологию производства, включающую составление шихты на основе песка, борной кислоты, сурика, глинозема и двуокиси циркония и последующую варку cTSKJia в электрической и газовых печах при 1350°С с выдержкой 0,5-1 ч. Выработку различных изделий технического назначения производят методами отливки, прессования и вытягивания, отжиг осуществляют в электрических муфельных печах. Составы стекло приведены в таблЛ. Физико-химические свойства стекол приведены в табл,2. Снижение коэффициента теплового расширения и повышение температуры размягчения обеспечивает предлагаемому стеклу требуемые для защитных покрытий вязкостные характеристики, оптимальное соотнршение коэффициента теплового расширения и температуры начала размягчения в сочетании с высокой химической устойчивостью,, что позйолйзт использовагь его для формирования монолитных герметизирующих покрытий толстопленочных конденсаторов .- устойчивых к воздействию ;имических реагентов и злажности, Т а блица 1 компонентов, мае,, % в стеклах

СТЕ1СЛО, включающее Si02, , Al20g, PtO отличающее с 51 ,с целью снижения кбэффициента термического расширения и повышения температуры размягчения, оно дополнительно содергкит 2г02 при следующем соотношении компонентов, Мас.%: . SiO -26-29 8-10 AlgOj 7-11 8203 51-54 РЪО ZrOo1-2

Е,,0

AIj.0

ВЪО

Src

Температура размягчения , с

Коэффициент теплового расширения о -Ю градУдельное электрическое сопротивление при , ОмСМ

Водоустойчивость (поте массы- ),%

Примечание: Стекла не кристаллизуются.

Таблица 2

510110

510110

510410

55±1

55±1

55±1

1-1

и

10

10

0,02

0,06

0,08