Стекло Советский патент 1984 года по МПК C03C3/10 

(Л

d

СТЕКЛО, включающее SiO, AljOg, 20, РЪО, отличающ е е с я . тем, что, с целью повышения . температуры оплавления и водоустойчивости при снижении коэффициента TepNm4ecKoro расширения, оно дополнительно содержит CdO при следующем соотношении компонентов, мае,%: Si 021-4-32 7-10 А1 Оз 13-20 в,о. f,r3 46-54 PbO 1-3 CdO

о

со

со 4 Изобретение относится к производству алюмоборосиликатного свинцовокадмиеврго стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве резистивног материала для рутениевых резисторов широкого диапазона применения. Известно стекло для толстопленочных резисторов, включающее,вес. РЪО45-85 ZnO, 0-10 RO0-10 (11. Эти стекла обладают пониженной температурой деформации и высоким коэффициентом теплового расширения что не позволяет использовать их в качестве стеклосвязки рутениевых резисторов с температурой обжига 830-850с. Наиболее близким к изобретению по составу является стекло, включающее , вес.%; SiOj10-25 PbO55-75 СоО 1-10 (2 I. Данное стекло из-за наличия в составе сравнительно больших количеств легкоплавких окислов свинца, бора, марганца, меди и кобальта характеризуется невысокой вяз-костью, а следовательно, и понижен ной температурой оплавления. Испол зование стекла с температурой оплавления 6бО-720°С в качестве стек лосвязки в рутениевых резисторах на основе рутенита висмута не позволяет повысить температуру вжиган резисторов до 830-850°С из-за раст кания стекла на контактные площадки и подложку в результате его лег плавкости. Поэтому обжиг рутениевы резисторов производится при пониже нух температурах, что ухудшает их электрифизические характеристики, Р тениевые резисторы на основе этого стекла имеют сравнительно высокий ТКС, узкий диапазон сопротивления, требуют высокого содержания рутени Целью изобретения является повы шение температуры оплавления к вод устойчивости при снижении коэффици ента термического расширения. Цель достигается тем, что стекло, включающее SiO, , ,, РЪО, дополнительно содержит СсЮ при следующем соотношении компонентов, Mac.%t SiOg14-32 AlgOj7-10 620313-20 PbO46-54 CdO1-3 Конкретные примеры составов, стекла и свойства приведены в таблице. Для синтеза стекол используют обычную технологию производства, включающую составление шихты на основе песка и химических реактивов квалификации хч и чда, варку стекла в газовой и электрической печах при 1350+10С и выработку изделий методами вытягивания, отливки с последующим их отжигом в электрических муфельных печах ВтаблЛи 2 представлена рецептура стекла и его свойства соответственно Приведенные в табл. 2 данные свидетельствуют, что применение нового компонента CdO и пониженного по срав нению с прототипом содержания РЬС обеспечивает yкaэaннo jy стеклу комплекс требуемых вязкостных, физикохимических и электрических свойство Использование стекла с повышенной температурой оплавления в резисторах с проводящей фазой на основе рутенита висмута позволяет повысить температуру вжигания резисторов до 850°С и полностью исключить растекание стекла во время вжигания на контактные площадки и керамическую подложку „ Предложенный состав стекла позволяет реализовать диапазон удельнык сопротивлений fg резисторов от 5 Ом/а до 1 мОм/а за счет изменения процентного содержания стекла в пасте от 20 до 80%. Электрические характеристики рутениевых резисторов (соотношение стекла и рутената висмута 65; 35, температура вжигания 850°С) представлены в табЛс 3, Таким образом, использование предложенного стекла в качестве стеклосвязки рутениевых резистивных композиций позволяет расширить диапазон сопротивлений, снизить ТКС и улучшить влагостойкость рутениевых резртсторов по сравнению с прототипом.

Таблица

Электрические

Рутениевые резисторы X ар а ктери,ст и ни

Т а б л и ц а 3

3 KOM/Q

5 ком/о 2-63 OM/S

+100-10 +100-10 250-730.10

х:0,5

0,5

0,5