Устройство для разрезания полупроводникового материала на пластины Советский патент 1984 года по МПК B28D1/04 

00

;о 1 Изобретение относится к механиче кой обработке полупроводниковых материалов, в частности, для разрезания монокристаллов кремния на пласт Известно устройство, которое ножат быть использовано для разрезания полупроводникового материала на пластины, содержащее гидравлический механизм подач, вьшолненный в виде силового гидроцилиндра, шток кртрро го взаимодействует с исполнительным органом, и дозатор, выполненный в в |виде плунжерной пары 11 J. Недостатком этого устройства является его сложность, а также возможность ошибки продольной подачи заготовки за счет кода плунжера дозатора, положение которого не имеет жесткой однозначной связи с положением плоскости режущего инструмента Наиболее близким к предлагаемому является устройство для разрезания полупроводникового материала на пластины, включащее станину, дисковый, режзщий инструментс приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с возможностью возвратно-п ступательного перемещения от привода Недостатком указанного устройства является свободное возвратное пере:Мещение ограничителя, что требует сложной системы контроля положения ограничителя или перемещения заготов ки, последукяцего контроля толщины отрезаемой пластины и к рректировкя положения ограничителя или величины продольной подачи заготовки при отклонении толщины пластины от заданной Целью изобретения является повышение надежности. Для достижения поставленной цели в устройстве для разрезания полупроводникового материала на пластины, включающем станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с oгpaничитeлeмj который установлен с возможностью возвратно-поступатель ного перемещения от привода, привод возвратно-поступательного перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упором возвратного перемещения ограничителя. Ограничитель подпружинен относительно станины. На чертеже схематически представлено предлагаемое устройство. 149 Сущность изобретения поясняется .чертежом. Устройство содержит установленные, на станине 1 головку 2 с дисковым режущим инструментом 3, механизм 4 вращения и перемещения головки 2, стойку 5, на которой установлены направляющие 6 и механизм 7 продольной подачи заготовки 8, в стойке 5 расположен упор, выполненный в виде полого винта 9, внутри которого проходит шток 10 ограничителя 11, шток 10 снабжен буртиком 12, и возвратной пружиной 13, каналом 14 для соединения с вакуумной системой (не показана) и механизмом 15 возвратно-поступательного перемещения. Устройство работает следующим образом. На направляющие 6 устанавливается заготовка 8 и присоединяется к механизму 7 продольной подачи, полым винтом 9 шток 10 с ограничителем 11 перемещается на расстояние, от плоскости режущего инструмента 3, равное заданной толщине пластины. Контроль перемещения осуществляется, например, индикатором перемещения плоской поверхности ограничителя 11 (не показан). Через канал 14 ограничитель 11 соединяется с вакуумной системой, механизмом 7 заготовка 8 подается до упора в ограничитель 11, а механизмом 4 головке 2 с режущий инструментом 3.. придается вращение и перемещение относительно заготовки 8. После полного разрезания заготобки 8 механизмом 15 ограничитель 11, а механизмом 7 заготовка 8 отводится от плоскости режущего инструмента 3, головка 2 возвращается в исходное положение, с ограничителя 11 снимается вакуум, отрезанная пластагна удаляется. Шток 10 с ограничителем 11 под воздействием механизма 15 и пружины 13 возвращается в исходное положение до ytiopa бурта 12 в торец полого винта 9, и цикл повторяется. Преимущество предлагаемого устройства по сравнению с известными заключается в упрощении конструкции и повышении точности возврата ограничителя продольной подачи заготовки в сходное положение, а, следовйтельо, повышении точности отрезанных ластин по толщине и, за счет этого, нижении расхода сырья на производтво пластин.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗРЕЗА НИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА НА ПЛАСТИНЫ, включающее станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с .возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, от личающе е с я тем, что, с целью повышения надежности, привод возвратна-поступательнрго перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упоJt oM возв ратного перемещения . ограничителя. 2.Устройство по п. 1, отличаю Щ е е с я тем, что ограничитель .подпружинен относительно станины.