Устройство для резки слитков на пластины Советский патент 1992 года по МПК B25D1/04 

сл С

Использование: в станках резки слитков кремния. Сущность изобретения: устройство имеет станину с ползуном с механизмом продольного перемещения, на ползуне расположен суппорт, состоящий из механизма продольного перемещения со штоком, который соединен с присоской для крепления слитка, при этом подвод присоски со слитком в зону резания производится механизмом продольного перемещения суппорта, а отвод производится вместе с ползуном другим механизмом продольного перемещения ползуна.2 ил,

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в станках резки слитков кремния.

Известно устройство для разрезания полупроводникового материала, содержащее станину, дисковый режущий инструмент с приводом вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем с возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, который снабжен регулируемым и фиксируемым упором, подпружиненным относительно станины.

Недостатком данного устройства является невысокая надежность вакуумного захвата слитка полупроводникового материала. При отводе слитка из зоны резания вакуумный захват может оторваться от торца слитка.

Известно также устройство для разреза заготовок, преимущественно полупроводниковых, содержащее станину с направляющими, головку с режущим инструментом, оправку для крепления заготовки и суппорт с механизмом прижима его направляющими.снабженное механизмом прижима оправки для крепления заготовки к направляющим, а суппорт выполнен в виде двух соединенных между собой пневмо- или гидроцилиндров, при этом шток одного из цилиндров соединен с оправкой для крепления заготовки, а шток второго цилиндра - с механизмом прижима суппорта к направляющим.

Недостатком устройства является биение и касание режущего инструмента при его отводе о торец полупроводникового цилиндра, что снижает качество торца слитка.

Целью изобретения является повышение надежности.

На фиг. 1 изображена схема устройства для резки слитков на пластины; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

j со

4 О Ю Ю

Устройство состоит из направляющей станины 1, направляющего ползуна 2, пнев- моцилиндра 3 продольного перемещения ползуна 2. На ползуне 2 расположен суппорт 4 с пневмоцилиндром 5 продольного перемещения со штоком 6 и присоски 7 для крепления плитки 8 с торца.

Суппорт4 снабжен пневмоцилиндром 9 с прижимом 10 к ползуну 2.

Слиток 8 закрепляется на ползуне 2 прижимом 11 с пневмоцилиндром 12 и режется на пластины вращающимся абразивным кругом 13 при его поперечном движении относительно оси слитка.

Устройство работает следующим обра- зом.

В исходном положении суппорт 4 прижат к ползуну 2, при подаче давления в пневмоцилиндр 9 в нижнюю его полость прижим 10 зажимает суппорт 4 относитель- но ползуна 2, Слиток устанавливается на направляющих ползуна 2 и его торец подводится к присоске 7, после чего за счет вакуума происходит прижатие торца слитка к присоске.

При подаче давления в певую полость пневмоцмлиндра 5 шток 6 с присоской 7 перемещает слиток 8 на требуемую величину в зону резания. Подачей давления в верхнюю полость пневмоцилиндра прижимом 11 слиток зажимается на ползуне. Радиальным смещением круга 13 происходит резка слитка на пластины.

В процессе резки слитка давление подается в верхнюю полость пневмоцилиндра 9, что приводит к разжиму суппорта 4 относительно ползуна 2. После разжима суппорта 4 давление подается в правую полость пневмоцилиндра 5, после чего суппорт 4 перемещается вправо на определенную ве- личину. Последующей подачей давления в нижнюю полость пневмоцилиндра 9 суппорт 4 вновь прижимается к ползуну 2. После отрезки пластины кругом 13 необходимо отвести слиток назад, чтобы при отводе круга не повредить торец слитка. Для этого подается давление в правую полость пневмоцилиндра 3, что позволяет

отвести ползун 2 от круга 13 на определенную величину.

Для этого необходимо разжать слиток относительно станины 1. В этом случае давление подается в нижнюю полость пневмоцилиндра 12, что позволяет отвести прижим 11 от слитка. Последующей подачей давления в правую полость пневмоцилиндра 3 отводится ползун 2 со слитком 8 от круга 13 на определенную величину. Далее отводится круг 13 в радиальном направлении в исходное положение для резки.

Для подвода слитка в зону отрезки пластины необходимо подать давление в левую полость пневмоцилиндра 3, что позволяет сместить ползун 2 со слитком 8 в положение после отрезки пластины, и подачей давления в левую полость пневмоцилиндра 5 сли- ток перемещается на определенную величину, необходимую для резки, Далее цикл работы повторяется.

Предлагаемое устройство позволяет повысить качество резки пластины, так как после отрезка ползун со слитком отводится от круга, чтобы не повредить торцевую поверхность слитка при отводе круга в исходное положение.

Повышается надежность работы устройства, так как не происходит перемещение слитка относительно ползуна в обратном направлении, что позволяет избежать отрыв присоски от торца слитка.

Формула изобретения

Устройство для резки слитков на пластины, включающее станину, установленный на нее ползун, суппорт, механизм продольного перемещения заготовки по суппорту, механизм отреза заготовки, о т- личающееся тем, что, с целью повышения надежности, станина снабжена направляющими для установки на них ползуна и силовым приводом перемещения ползуна по направляющим станины, ползун - направляющими, на которые установлен суппорт, и механизмом прижима суппорта к ползуну, при этом механизм продольного перемещения заготовки установлен на суппорте.