Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких материалов, а именно к распиливанию полупроводниковых материалов на станках с вращающейся пилой, и может быть использовано в электронной промьштенности.
По основному авт.св. № 937171 известно устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов, содержащее оправку с наклеенным слитком и держйвку, выполненную в виде установленного в корпусе соосно оси оправки упругого кольца с расположенными в нем диском и шарикоподшипников, установленных Между корпусом и диском Го
Недостатком известного устройства является то, что колебания,возникающие в процессе работы, носят беспорядочный характер. Регулировку жесткости для получения гармоническ колебаний производить достаточно сложно. Указанный недостаток уменьшает процент выхода годных изделий, что ведет к снижению производительности труда.
Цель изобретения - повышение производительности труда за счет увеличения выхода годных изделий.
Поставленная цель достигается, тем, что в устройстве для закрепления слитков твердых хрупких материалов диск вьтолнен с радиальным выступом с отверстием, размещенньм между верхней и нижней крышкаьш, и шарнирно соединен с последними.
На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство, на фиг.2 и 3 - схемы работы устройства.
Устройство содержит оправку 1, наклеенный на нее слиток 2 и державку, которая состоит из корпуса 3 с крышками 4, диска 5 с радиальным выступом с отверстием, через которое проходит ось 6, шарикоподшипников 7, установленных между диском 5 и крышками 4. В корпусе имеется
одно или несколько боковых отверстий для установки винта 8 с упором 9 для регулирования жесткости упругих элементов 10.
Устройство работает следующим образом.
Отрезной круг станка настраивается с биением режущей кромки, равным или несколько более величины подачи слитка на оборот отрезного круга. Практически в этом необходимости не бывает, так как при установке круга АВРК (алмазный круг с внутренней режущей кромкой) на станке неизбежно получается биение режущей кромки не менее 30-50 мкм. А при скорости подачи слитка, например, 60 мм/мин величина подачи на оборот круга составляет: для 60000
станка Алмаз-4
20 мкм/об,,
30000
60000
для станка Алмаз-6 30 мкм/об.
2000
5 При вхождении слитка в контакт с выступающей частью режущей кромки он отклоняется под воздействием усилия резания относительно центра О, занимая положение I (фиг.2). Затем
0 по мере вращения режущей кромки, вследствие ее биения, слиток перемещается, занимая положение II, а затем III. Соответственно дуга контакта будет сначала f затем f и j
После этого процесс идет в обратном порядке, т.е. резание слитка происходит по схеме, показанной на фиг.З. При этом возникают гармонические колебания слитка. Жесткость
упругих элементов державки при этом необходимо подстраивать для согласования частоты колебаний слитка и биения режущей кромки.Благодаря такой конструкции устройства обесc печивается устойчивая работа приспособления, сохраняются все преимущества прототипа, что обеспечивает качество получаемых изделий.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1980 |
|
SU937171A1 |
Устройство для упругого закрепления слитков при резке | 1984 |
|
SU1167021A1 |
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1987 |
|
SU1447689A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ КРЕМНИЕВОГО СЛИТКА НА ПЛАСТИНЫ | 2010 |
|
RU2431564C1 |
Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом | 1981 |
|
SU982935A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ УСТАНОВКИ И НАТЯЖЕНИЯ АЛМАЗНОГО КРУГА С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 1993 |
|
RU2100195C1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 1995 |
|
RU2109631C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗАТРАВОЧНЫХ КРИСТАЛЛОВ | 1990 |
|
RU1786762C |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ УСТАНОВКИ И НАТЯЖЕНИЯ ДИСКА С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 1972 |
|
SU426841A1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН | 2005 |
|
RU2308556C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ СЛИТКОВ ТВЕРДЫХ ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ по авт.св. № 937171, отличающееся тем, что, с целью повьппения его производительности за счет увеличения выхода годных изделий, диск выполнен с радиальным выступом с отверстием, размещенным между верхней И нижней крьшками и шарнирно соединен с последними. S
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1980 |
|
SU937171A1 |
Видоизменение прибора с двумя приемами для рассматривания проекционные увеличенных и удаленных от зрителя стереограмм | 1919 |
|
SU28A1 |
Авторы
Даты
1984-06-07—Публикация
1983-01-17—Подача