оь
SD
Изобретение относится к мехвиической обработке 4 т вер дых крупных ма Териалов а именно распиливанию полупроводниковых 1 ттериалов на станках с вращакщейся пилой и мо .жет быть использовано в электронной промышленности.
Цель изобретения - повшаение надежности работы и упрощение конструкции.
На фиг. 1 изображено предпагаемое устройство} на фиг. 2 - положение слитка и режущей кромки отрезного круга в процессе резания.
Устройство содержит оправку 1 с нагонными слитками 2, закрепленную винтами 3 на державке, которая состоит из корпуса 4 и прямоугольной пластины 5 жестко закрепленной винтами (штифтами) 6 на оси 7, кото рая может вращая-ься в. подшипниках (во втулках) 8, запрессованных в корпус 4. Через пластину 5 проходит шпилька 9 с гайками 10, которьми через стальные прокладки 11 регулируется жесткость упругих элементов 12. От осевого смещения ось 7 предохраняется пружиной 13, зайрепг ленной винтом 14.
Устройство работает следующим образом.
Отрезной круг станка настраивается с биением режущей кромки, равньи или несколько более величины подачи слитка на оборот отрезного круга. Практически в этом необходимости не бывает, так как при уста новке алмазного круга с внутренней режущей кромкой (АВРК) на станке неизбежно получается биение режущей крсшки не менее 30-50 мк. А при ско.рости подачи слитка, например, 60 Мм/мин величина подачи на один оборот круга составляет:
для станка Алмаз-4 мкм/66J
Для станка Алмаз-6М - 60000
2000 « 30 мкм/об.
При резании слитка происходит следующий процесс.
При вхождении в контакт с выступающей частью режущей кромки слиток 2 отклоняется под воздействием усилия резания относительно центра О, занимая положение I (фиг. 2). При этом усилие резания черезоправку 1 передается на пластуну 5, поворачивая ее.с осью 7 во втулках 8 корпуса 4 и сжимая упругий элемент 12. Затем, по мере вращения режущей кромки, усилие ее взаимодействия со слитком уменьшается и слиток 2 перемещается упругим элементом в положение 11, а затем -111, копируя биение режущей кромки. Соответственно дуга контакта будет сначала 6, jпотом 6 и РЗ Потом процесс происходит в обратном порядке. Таким образом возникают гармонические колебания слитка, амплитуда и частота которых регулируется, гайками 10 через стальные прокладки 11 путем сжатия упругих элементов 12, находящихся на шпильке 9 с обеих сторон пластины 5. От случайного осевого смещения при работе приспособле ния ось 7 удерживается пружиной 13, закрепленной винтом 14, что обеспечивает воспроизводимость геометрических параметров OTpe3aeheiix пластин.
Фuг.i
Уси/JL/e р€9аиия
11
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1983 |
|
SU1096127A2 |
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1980 |
|
SU937171A1 |
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1987 |
|
SU1447689A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ КРУГАМИ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 2003 |
|
RU2252869C2 |
СПОСОБ РЕЗКИ КРЕМНИЕВОГО СЛИТКА НА ПЛАСТИНЫ | 2010 |
|
RU2431564C1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 1995 |
|
RU2109631C1 |
СПОСОБ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ | 1998 |
|
RU2155131C2 |
Устройство "нева" для отрезки детали на токарном станке | 1982 |
|
SU1074660A1 |
Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом | 1981 |
|
SU982935A1 |
СБОРНЫЙ ОТРЕЗНОЙ РЕЗЕЦ И РЕЖУЩИЕ ПЛАСТИНЫ К НЕМУ | 2007 |
|
RU2366542C2 |
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРУГОГО ЗАКРЕПЛЕНИЯ СЛИТКОВ ПРИ РЕЗКЕ, содержащее оправку с наклонным слитком и державку с подвижной частью, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы и упрощения конструкции, подвижная часть державки выполнена в виде прямоугольной пластины, которая при помощи оси закреплена во втулках корпуса и расположена перпендикулярно плоскости резания, причем державка снабжена упругими элементами, между которыми зажата пластина, при этом упругие элементы выполнены с регулируемой жесткостью. 2. Устройство по н. t, о т л ич а ю щ. е е с я .тем, что прямоугольная пластина снабжена пружиной для удержания от осевого перемещения .
Фиг. 2
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1980 |
|
SU937171A1 |
Видоизменение прибора с двумя приемами для рассматривания проекционные увеличенных и удаленных от зрителя стереограмм | 1919 |
|
SU28A1 |
Авторы
Даты
1985-07-15—Публикация
1984-05-18—Подача