Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов Советский патент 1988 года по МПК B28D7/02 

4

4

05 00 UD

Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано для разделения полупроводниковых материалов на пластины на станках с ращаю- щимся диском.

Целью изобретения является повышение качества обработки.

На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, сечение; на фиг. 3 - схема работы устройства.

Устройство содержит оправку 1, наклеенный на нее слиток 2, связанную с оправкой 1 направляющую 3 с перемещающимися по паправляющей 3 балансировочными грузами 4 державку, состоящую из эксцентрикового вала 5, установленного на подщип- никах 6, насаженного на эксцентриковый вал 5 ротора 7, помещенного во внутреннюю полость цилиндрического корпуса 8, с крыщка- ми 9, одна из которых выполнена с сальйи- ковым уплотнением 10, расположенную в корпусе 8 разделительную пластину 11, прижимаемую пружинами к поверхности ротора 7, штуцер 12, соединенный с цилиндрической полостью корпуса 8 и связанный с атмосферой, а другой штуцер 13 подключен через регулятор давления 14 к трубопроводу сжатого воздуха 15, затяжную гайку 16 крепления оправки 1 с валом 5.

Устройство с наклеенными слитком 2 предварительно процессу разрезания слитка на пластины балансируется перемещением грузов по направляющей 3.

Регулятор давления на трубопроводе сжатого воздуха устанавливается на давление сжатого воздуха, соответствующее предварительно выбранному значению жест- кости системы.

Ось вращения державки устанавливается соосно оси вращения диска. Оправка с нанесенным слитком проворачивается относительно вала державки от направления пе- ремещения державки в процессе резки в сторону направления усилий резания на угол первоначального смещения слитка.

Угол первоначального смещения слитка выбирается, исходя из характеристики и размеров обрабатываемого материала, т.е. пос- ле выбора оптимальной длины дуги контакта режущей кромки со слитком, жесткости систе.мы.

Устройство работает следующим образом.

Слиток, предварительно установленный отклонением от направления перемещения державки, в процессе резки в сторону действия усилий резания на угол первоначального смещения находится в положении 1 фиг. 3. При врезании режущей кромки диска в слиток последний под действием усилий

5

5

5

0

о

35

XQ

45

55

50

резания вместе с оправкой, жестко укрепленной на эксцентриковом валу, стремится провернуть вал.

Усилия резания, прилагаемые режущей кромкой диска с поверхности слитка, компенсируются предварительно устанавливаемым регулятором давления, давлением сжатого воздуха, заполняемого серповидную полость цилиндрического корпуса, ограниченную пластиной, плотно прижимаемой к поверхности ротора и самой поверхностью ротора.

Положение слитка соответствуег положению II на фиг. 3. Давление сжатого воздуха, определяющее жесткость системы, устанавливается в зависимости от характера обрабатываемого материала с целью предотвращения появления трещин и сколов на пластинах в результате действия чрезмерных усилий режущей кромки на слиток.

По мере врезания режущей кромки диска в слиток происходит увеличение дуги контакта режущей кромки со слитком, что приводит к увеличению сил резания, стремящихся провернуть слиток относительно оси вращения. Так как дав-чение воздуха в серповидной части полости цилиндра поддерживается постоянным с помощью регулятора давления, слиток получает вращение относительно центра вращения, смещающегося по оси Z-Z (фиг. 3) по мере врезания слитка.

Вращение слитка ведет к уменьшению подачи слитка в зону резания, уменьшению дуги контакта слитка режущей кромкой (положение слитка III на фиг. 3). При уменьшении дуги контакта режущей кромки диска со слитком, когда давление сжатого воздуха в серповидной полости цилиндра пре- выщает усилия резания, происходит возвратное перемещение слитка с увеличением усилий резания.

Формула изобретения

Устройство для закрепления слитков твердых и хрупких материалов, включающее ось со смонтированным на ней коромыслом, на одном конце которого установлена оправка с кристаллом, а на другом - балансир, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, устройство снабжено механизмом стабилизации силы резания, выполненным в виде компрессионной цилиндрической камеры, в которой эксцентрично установлен ротор с соосно расположенным в нем валом, внутри которого размещена ось, соосная с компрессионной цилиндрической камерой, причем ротор выполнен с подпружиненным ограничителем его хода.

Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано для разделения полупроводниковых материалов на пластины на станках с вращающимся диском. Целью изобретения является повыщение качества обработки. В устройстве, содержащем оправку с наклеенным слитком и державку, оправка выполнена эксцентрично оси вращения державки и связана с расположенными на ней балансировочными грузами, а державка выполнена в виде эксцентрикового вала, установленного на подшипниках с ротором, насаженным на эксцентриковый вал и помещенным во внутреннюю полость цилиндрического корпуса. В корпусе расположены разделительная пластина, которая прижимается пружинами к ротору, и штуцеры, соединенные с цилиндрической полостью, один из которых связан с атмосферой, а другой подключен через регулятор давления к трубопроводу сжатого воздуха. 3 ил. (О

:

А-А

(PU2.2

в

03иг.1