(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ СЛИТКОВ ТВЕРДЫХ ХРУПКИХ МАТЕРИАЛОВ Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких неметаллических материалов, а именно для распиливания полупроводниковых материалов на станках с вращающейся пилой, и может быть использовано в электронной промышленности. Наиболее близким к предлагаемому по техническому рещению является устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов, включающее оправку с наклеенным слитком и державку 1. Недостатком известного устройства является то, что под действием сил резания возникает изгибающий момент, отклоняющий слиток от первоначальной оси, что может привести- к искажению плоскостности отрезаемых изделий, при достаточной длине слитка. Цель изобретения - повышение точности отрезаемых изделий. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для закрепления слитков твердых хрупких материалов, включающем оправку с наклеенным слитком и державку, последняя выполнена в виде установленного в корпусе соосно оси оправки упругого кольца с расположенным в нем диском и шарикоподшипников, установленных между корпусом и диском. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 - схема работы устройства. Устройство содержит оправку 1, наклеенный на нее слиток 2 и державку. Державка состоит из корпуса 3 с крышками 4, диска 5, расположенном в упругом кольце 6, шарикоподщипников 7, установленных между диском 5 и крышками 4. Необходимый натяг между крышками 4 шарикоподшипников 7 и диском 5 регулируется прокладками между крышками 4 и корпусом 3 или подбирается заранее путем изготовления корпуса 3 заданной толщины. Б корпусе имеется одно или несколько боковых отверстий для установки винта (ов) 8 с упором 9 для регулирования упругости элементов. Устройство работает следующим образом. В момент врезания режущей кромки отрезного круга слиток под воздействием усилий резания смещается назад, смягчая усилие контакта.
Это предотвращает появление трещин в отрезаемой пластине и позволяет режущей кромке круга получить необходимое направление при врезании. В последующем, под действием сил резания, слиток преобретает крутильные колебания, которые способствуют сокращению дуги контакта и скорейщему удалению продуктов резания.
Под воздействием усилий резания и в зависимости от их направления слиток может повернуться относительно любого центра, например О г (фиг. 2), находящегося в плоскости диска 5. Конструкция оправки это позволяет.
Но как только слиток повернется на какой-нибудь угол, сразу сокращается дуга контакта до половины диаметра слитка, еледовательно, усилие резания уменьщается, слиток возвращается обратно и может занять положение II под действием сил упругости.
Однако в это время происходит подача слитка в направлении S и усилия резания нарастают, слиток опять отклоняется вниз и процесс повторяется, т. е. слиток преобретает крутильные колебания.
Помимо сокращения дуги контакта .эти колебания способствуют подшлифовке поверхности пластин боковой поверхностью ре.жущей кромки. Кроме того, так как режущая кромка не идеально круглая, а может иметь отклонения (направление прокатки основы, неправильная установка и растяжение), упругое закрепление слитка позволяет компенсировать биение режущей кромки для более полного использования режущей поверхности.
Предлагаемое устройство повыщает эффективность работы круга и улучщает качество отрезаемых пластин по плоскости, параллельности и нарущенному слою.
Формула изобретения
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов, включающее оправку с наклеенным слитком и державку, отличающееся тем, что, с целью повыщения точности отрезаемых изделий, державка выполнена в виде установленного в корпусе соосно оси оправки упругого кольца с расположенными в нем диском и щарикоподщипников, установленных между корпусом и диском.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР № 423662, кл. В 28 D 5/02, 1974.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1983 |
|
SU1096127A2 |
Устройство для закрепления слитков твердых хрупких материалов | 1987 |
|
SU1447689A1 |
Устройство для упругого закрепления слитков при резке | 1984 |
|
SU1167021A1 |
Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом | 1981 |
|
SU982935A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛИТКОВ НА ПЛАСТИНЫ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ С ВНУТРЕННЕЙ РЕЖУЩЕЙ КРОМКОЙ | 1995 |
|
RU2109631C1 |
Способ резки полупроводниковых слитков | 1990 |
|
SU1784467A1 |
Устройство для резки твердых и хрупких материалов | 1990 |
|
SU1763205A1 |
Устройство для резки твердых и хрупких материалов | 1990 |
|
SU1770134A1 |
СПОСОБ РЕЗКИ КРЕМНИЕВОГО СЛИТКА НА ПЛАСТИНЫ | 2010 |
|
RU2431564C1 |
Способ резки монокристаллических слитков | 1985 |
|
SU1314401A1 |
Режуи4ая кромка
Фиг. 2
Авторы
Даты
1982-06-23—Публикация
1980-10-31—Подача