Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом Советский патент 1982 года по МПК B28D5/02 

(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ И ПОДАЧИ СЛИТКОВ ПРИ РЕЗКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ АЛМАЗНЫМ ОТРЕЗНЫМ КРУГОМ

1

Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов, а именно к устройствам для алмазной резки кремния, германия, стекла, кварца, рубина, ситалла и т.п. на пластины.

Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство для закрепления и подали слитков при резке полупроводниковых материалов на пластины алмазным отрезным кругом, содержащее вал с планшайбой и плиту Cl .

Недостатком известного.устройства является то, что оно не позволяет разрешить противоречия, возникающие при установке инструмента - алмазного отрезного круга:, с одной стороны, для повышения производительности необходимо увеличить длину дуги кон такта слитка с режущей, кромкой за один оборот круга, что достигается уменьшением радиальных биений, с другои стороны, при малых радиальных биениях затрудняется охлаждение зоны резания и вынос шлама, что снижает эффективность резки.

Целью изобретения является увеличение производительности и улучшение качества отрезаемых пластин.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для закрепления и

10 подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом, содержащем вал с планшайбой и плиту, вал с планшайбой соединен упругим элементом, выполненным в виде

15 четырех стержней одинакового сечения, с плитой, снабженной электромагнит.ным возбудителем колебаний, выполненным в виде замкнутого магнитопровода, содержащего четыре полюса с

20 катушками и расположеннЬг о в центре сердечника, жестко закрепленного на планшайбе, начала обмоток всех катушек соединены вместе и подключены к 3 .98 одному зажиму источника переменного тока, концы одной пары противоположно расположенных катушек подключены через встречно включенные диоды к другому зажиму источника, а концы другой пары катушек - через встречно включенные диоды и фазосдвигающую цепочку,На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг, 2 - сечение А-А на фиг. 1 ; на фиг. 3 электрическая принципиальная схема. Устройство содержит вал 1 с планшайбой 2 и приклеенный на валу слиток 3. С помощью четырех упругих стержней круглого сечения k планшайба соединена с плитой 5 на которой закреплен замкнутый магнитопровод 6 имеющий четыре, полюса и четыре ка- . тушки 7-10, соосно с валом в.центре магнитолровода расположен сердечник 11, жестко закрепленный на планшайбе 2, Начала обмоток катушек 7 8 9 и 10 соединены вместе и подключены к одному зажиму источника 12 пере менного тока. Концы обмоток 7 и Э подключены через встречно включенные диоды 13 и lif к другому зажиму источ ника, а концы обмоток 8 и 10 подключены к нему через встречно включенные диоды 15 и 16 и фазосдвигающую цепочку 17. Устройство работает следующим образом. Плита 5 закрепляется на столе ста ка резки. При включении источника переменного тока через обмотки катушек 7-10 будут протекать токи, изменяющиеся по гармоническому закону 1х I Sincot; 1у Sinicot + Ч, что приведет к появлению электромеханических сил, действующих на сердечник 11: FX Fj Sincot и Р Fj,,SinCcot ), которые, векторно суммируясь, образуют вращающийся результирующий вектор силы. Так как планшайба с сердечником, валом и слитком установлены на упругой подвеске, имеющей одинаковую жесткость в плоскости вращения круга, то они совершают круговые (при F F и vf 90° J или эллиптические колебания (при FX F,, 90°). Таким образом, в процессе резки слиток совершает линейное перемещение, обеспечиваемое продольным перемещением стола станка и круговые или эллиптические колебания в плоскости вращения инструмента. При амплитуде колебаний больших или равных значению радиального биения режущей кромки число врезаний ее в слиток за один оборот определится отношением частоты вынужденных колебаний к частоте вращения круга. В этом случае непрерывная кромка работает как зубчатая пила, число зубьев вынужу. которой Z вращ. Формула изобретения Т. Устройство для закрепления и подачи слитков при резке полупроводниковых материалов алмазным отрезным кругом, содержащее вал с планшайбой и плиту, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и улучшения качества отрезаемых пластин, вал с планшайбой соединен упругим элементом, выполненным в виде четырех стержней одинакового сечения, с плитой, снабженной электромагнитным возбудителем колебаний, выполненным в виде замкнутого магнитопровода, содержащего четыре полюса с катушками и расположенного в центре сердечника, жестко закрепленного на планшайбе. 2. Устройство по п. 1, отличающееся- тем, что, с целью получения круговых или элиптических колебаний слитка в плоскости вращения алмазного отрезного круга, начала обмоток всех катушек соединены вместе и подключены к одному зажиму источника переменного тока, концы одной пары противоположно расположенных катушек подключены через встречно включенныз диоды к другому зажиму источника, а концы другой пары катушек - через встречно включенные диоды и фазосдвигающую цепочку. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР V А23662, кл. В 28 D 5/02, 1972 прототип). Продо/гьмая z.t