Способ изготовления толстопленочных резисторов Советский патент 1984 года по МПК H01C7/00 

у

О)

ч Изобретение относится к электронной технике и может быть использова но в технологии изготовления толстопленочных резистивных элементов, например, термометров сопротивления Известен способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий приготовление пасты из порошкой диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла к нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты 1J. Недостатки известного способа изготовления толстопленочных резисторов состоят в низком температурном коэффициенте сопротивления (ТКС) и нелинейной зависимости сопротивления от температуры, что не позволяет использовать резисторы в качестве термометров сопротивления. Наиболее близким к изобретению техническим решением является способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий приготовление пасты из порошков диоксида рутения с размером частиц 0,02-0,02 мкм и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты при 850°С 2. Недостатки известного способа изготовления заключаются в низком ТКС (менее 250-10 град) и нелинейной зависимости сопротивления от (температуры.. Цель изобретения - повьшение температурного коэффициента сопротивления и обеспечение линейной температурной зависимости сопротивления в диапазоне рабочих температур (-150) (200). Цель достигается тем, что по способу изготовления толстопленочных резисторов, включающем приготовление пасты из порошков диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, порошок диоксида рутения используют с размером частиц 0,06-0,08 мкм, а йжнгание пасты осуществляют при 890910 С в течение 12-15 мин. Способ осуществляется следующим образом. Порошки диоксида рутения с размером частиц 0,06-0,08 мкм в количестве 47-53 вес.% и свинцовоторосиликатного стекла в количестве 47-53 вес.% тщательно перемещивают, добавляют органическое связующее, повторно перемешивают до-получения однородной пасты необходимой вязкости, пасту наносят на керамическую подложку методом трафаретной печати, загружают в конвейерную печь и вжигают при 890, 900, 910°С в течение 12-15 мин. Полученные толстопленочные резисторы имеют ТКС (12-15) 10 град- и линейную температурную зависимость сопротивления в диапазоне рабочих температур (-150) - (200)°С. Изобретение позволяет повысить ТКС, обеспечить линейную температурную зависимость сопротивления в широком диапазоне рабочих температур и расширить функциональные возможности толстопленочных резисторов на основе диоксида рутения.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий приготовление пасты из порошков диоксида рутения и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, отличающийся тем, что, с целью повышения температурного коэффициента сопротивления и обеспечения линейной температурной зависимости сопротивления в диапазоне рабочих температур (-150)-