Испаритель многокомпонентных материалов Советский патент 1984 года по МПК C23C13/12 

00 -ч1

со

I111

Изобретение ртаосится к нанесению покрытой в вакууме и может быть иснользовано . для получения многокомпонентных покрытии.

Известен испаритель многокомпонеитных материалов, содержащий корпус с выходным отверстием; перекрытым заслонкой f).

Недостатком известного испарителя является сложность конструкции, так как для герметичного закрывания выходного отверстия требуется сложный механизм с притертыми сопрягаемыми поверхностями корпуса иотарителя и заслонки, а для Автоматизации процесса выпуска паров из испарителя - специальная электронная следящая система.

Цель изобретения - упрощение конструкции испарителя.

Поставленная цель достигается тем, что в испарителе многокомпонентных материалов, содержащем корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, последняя выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.

Испаритель позволяет получить воспроизводимые пленки сложного состава за счет самоавтоматизации процесса выпуска пара, в состав которого входят все компоненты исходного вещества, так как выходное отверстие открывается только при расплавлении наиболее тугоплавкой компоненты.

На чертеже показан предлагаемый испаритель, общий вид.

Испаритель состоит из корпуса 1, разделенного диафрагмой 2 на емкость 3 для испаряемого, материала и камеру сменшвания 4, на торец которой одета заслонка 5 с выходным отверстием 6. Для разогрева испарителя джоулевым теплом за счет пропускания тока по корпусу используется токоподводы 7. Выходное отверстие закрьгеается пробкой 8, выполненной нз наиболее тугоплавкой компоненты испаряемого многокомпонентного MatepHana.

Испаритель работает следующим образом.

Навеску для испарений приготовлшт из механической смеси А. ВС...Х , взятых в соответствующих соотнощениях. Для загрузки испаряемой навески корпус 1 испарителя выполнен разъемным, что позволяет отделить камеру смешивания 4 от емкости 3 Для испаряемого материала и быстро загрузить последнюю. (Выходное отверстие 6 закрьшают пробкой 8 из наиболее тугоплавкой компоненты смеси (вес пробки. учитывается при приготовлении навески). При достижении определенного разрежения в вакуумной камере на испаритель подают напряжение такой величины, которое способно обеспе щть в коротком интервале временн нагрев испарителя на 420-450 К выще температуры испарения наиболее тугоплавкой компоненты смеси А В С...Х . Пары сквозь отверстия диафрагмы 2 поступают в камеру смешивания 4, где осуществляется процесс синтеза. Отверстия в диафрагме выбираются из условия исключения попадания неиспаривщихся частиц из нижней части испарителя в верхнюю. Выпуск синтезированного пара из камеры смешивания происходит автоматически при испарении проб ки из наиболее тугоплавкой компоненты, при этом пары испаряющейся пробки участвуют в формировании покрытия.

Пример. испаренни механнческой смеси А В (PL -j Sn Se) , отличающихся температурой испарения (PL 600 К, Sn 50 К Se 480 К), в качестве пробки используется PL. X - 0,5 полный вес испаряемой навески составляет 1,308 г (PL 0,747 г, Sn 0,166 г, Se 0,395 г). Все пробки PL 0,2-0,6 мг. Для полного синтеза, испарения пробки и выпуска паров испаритель нагревают до 1020-1050° К.

Изобретение позволит простыми средствами получать качественные многокомпонентные покрытия.

ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, отличающийся тем, что с целью упрощения конструкции испарителя, заслонка- . выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.