Устройство для осаждения пленок твердых растворов Советский патент 1990 года по МПК C30B23/02 

Изобретение относится к выращиванию кристаллов, в частности к устройствам для получения полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является поддержание постоянного давления смешанных паров компонентов.

На чертеже представлено устройство, общий вид, разрез.

Устройство содержит вакуумную камеру 1, корпус которой выполнен из спектрально- чистого графита и подключен с помощью электродов 2 к источнику тока. В камере 1 , размещен испаритель 3, содержащий смесь компонентов твердого раствора. Над испарителем установлена подложка 4, снабженная системой охлаждения 5 и механической заслонкой 6. Между испарителем 3 и подложкой 4 закреплена перегородка 7, выполненная из упругого материала и снабженная дросселирующим соплом 8, установленным по центру.

Устройство работает следующим образом.

После загрузки испарителя 3 компонентами твердого раствора его устанавливают в нижней части камеры 1. Подложку 4 с системой охлаждения 5 и механической заслонкой 6 монтируют в верхней части камеры 1, затем ее вакуумируют. Нагрев камеры 1 до заданной температуры, необходимой для испарения компонентов твердого раствора, осуществляют подачей электроэнергии через электроды 2. Образуемые при нагреве пары предварительно смешиваются внутри испарителя 3 и заполняют нижнюю часть камеры 1. При достижении определенного значения давления испаряемые пары через трубчатое сопло 8, деформируя перегородку 7, поступают в верхнюю часть вакуумной камеры 1. При открытии механической заслонки 6 за счет разно.сти температур, создаваемой системой охлаждесл 1

4Ь

с& со

ния 5, проис; одит осаждение паров на jio- верхности подложки 4. Потеря давлений в трубчатом сопле 8 позволяет поддерживать определенные давления над испарителем и обеспечить этим стабильность состава осаж- шемых паров на подложке 4.

Устройство для осаждения пленок твердых растворов, содержащее обогреваемую вакуумную камеру, размещенные в ней один напротив другой испаритель для смеси компонентов твердого раствора и охлаждаемую подложку, отличающееся тем, что, с целью поддержания постоянного давления смешанных паров компонентов, вакуВ данном устройстве получают пленки твердых растворов соединений А В из механической смеси порошкообразных компо-- - -

нентов например (PbSe), (SnTe)i, для 10 умная камера снабжена перегородкой с дросэпемен тов синхросхем. При этом обеспечи-селирующим соплом в центре, выполненной

вается экономия за счет сокращения бракаиз упругого материала и установленной

на J2 /между подложкой и испарителем.

Формула изобретения

Устройство для осаждения пленок твердых растворов, содержащее обогреваемую вакуумную камеру, размещенные в ней один напротив другой испаритель для смеси компонентов твердого раствора и охлаждаемую подложку, отличающееся тем, что, с целью поддержания постоянного давления смешанных паров компонентов, ваку- - -

умная камера снабжена перегородкой с дрос

Изобретение относится к устройствам для получения полупроводниковых материалов. Цель изобретения - поддержание постоянного давления смешанных паров компонентов. Устройство содержит обогреваемую вакуумную камеру. В камере размещен испаритель для смеси компонентов и подложка, закрепленная над испарителем и снабженная системой охлаждения. Между подложкой и испарителем установлена упругая перегородка с дросселирующим соплом. При нагреве камеры до температуры испарения компонентов пары смешивают в испарителе, а затем в нижней части камеры. При прохождении паров через сопло упругая перегородка деформируется. Пары поступают в верхнюю часть камеры. При этом поддерживается определенное давление над испарителем и обеспечивается стабильность состава осаждаемых паров на подложке. Получают пленки (RB SE)_X(SN TE)_1-X. 1 ил.