Устройство для дозирования парогазовой смеси Советский патент 1992 года по МПК G01F13/00 

Изобретение относится к ммкроэлект- рониой технике, я именно к дотирующим устройствам б рбо сэ.т.(огс тмпз для выдачи определенной дозы парогазовой- смеси на основе мьтэллорГс-н /песккх соединений для эпитагсиального процесса. Целью изобрзтеиия является повышение точности дозироззн я металлорганиче- скйх соединений для зпмтаксисльного процесса за счет повышения однородности парогазоаой смеси (ПГС).

На чертеже изображено предлагаемое устройство для получения пгрогазовой сме- ск.

г Ч г I - Л - - f- , - г. г- - .-...--- . - - - л. -- . -г,.,-

- w |- . j. i .- - v .. .j. i . - - « j i4 ,:

гермеглниая камера 3 которой заполнена дозируемой жидкостью - мзталлорганичэ- скич соединением. В верхней части 2 емко сти 1 располох:ены патрубок 4 для вводя

гэза-носителя и патрубок 5 для вывода пз- рогазовой смеси, прикрепленный к крышке герметичной камеры 3. Верхняя часть 2 емкости 1 сообщена с камерой 3 трубкой 6 для подвода газа-носителя. Трубка 6 погружена . в дозируемую жидкость. Из конце трубки 6 рыполнена кольцевая вставка 7 из пористой нержавеющей стали, а торец 8 трубки 6 заглушен. Верхняя часть 2 емкости 1 и камера 3 равны по объему, камера 3 помещена в термостат 9. Все детали устройства, контактирующие с метэллорганическим соединением, изготовлены из нержавеющей стали. Устройство работает следуют.: опрзj6 -i.

3 камеру 3 заливают дозируемую жидкость и помешают камеру 3 в термостат 9, поддерживающий необходимую для дозируемой жидкости температуру. Газ-носи5ПА%

V

О

4 VI оэ.

д

тель через патрубок 4 поступает сначала в верхнюю часть 2 емкости 1, затем в трубку 6 и проходит через пористую вставку 7 на конце трубки 6 в дозируемую жидкость. Далее насыщенный веществом газ-носитель выходит из камеры 3 через патрубок 5 и поступает в реактор эпитаксиального наращивания.

Устройство относится к барботэжным дозаторам, в которых ПГС получают путем пропускания газа-носителя через слой испаряемого вещества. Степень насыщения газа-носителя зависит от степени измельчения пузырьков газа, для чего вставка выполнена из пористой нержавеющей стали с размерами пор 10-15 мкм, и его расхода через дозатор. Высота пористой вставки трубки выполнена минимально возможной (2 мм) по двум причинам: во-первых, насыщение пузырьков газа парами жидкости не должно зависеть от высоты столба жидко- сти внутри дозатора, во-вторых, протяженность рабочего участка приводит к коалисценции (слипанию) пузырьков. При выделении пузырьков газа с вертикально расположенной стенки трубки (торец труб- ки заглушен) уменьшается вероятность их слипания. Поскольку пузырьки образуются мелкие, то и насыщение гэза-чосмтеля парами жидкости происходит значительно быстрее. Поэтому при снижении уровня жидкости насыщение газа ее парами не меняется. Кроме того, уменьшение размеров пузырьков приводит к снижению брызгоу- носа, что уменьшает дефектообразование наращиваемых эпитаксиальных слоев.

Таким образом, уменьшение размеров пузырьков и их воспроизводимость по объему обеспечивают наиболее полное насыщение газа-носителя испаряемым веш.еством, а значит, стабилизацию состава ПГС. За счет повышения однородности кон- центрационного состава ПГС повышается точность ее дозирования и вследствие этого улучшается воспроизводимость эпитаксиальных слоев от процесса к процессу. ,

Формула изобретения Устройстро для доэирорзжчя парогазо- вой смеси, содержащее герметичную камеру для дозируемой жидкости, в которую опущена трубка для подвода газа-носителя, г в крышке герметичной к-шеры установлен патрубок для отвода пароггзовой смеси, о т- личающееся тем, что. с целью повышения точности дозированил металлорганиче- ских соединений для эпитзксиального процесса з счет повышения однородности парогззовой смеси, нижний конец трубки для подвода газа-носителя заглушен и выполнен с кольцееой вставкой из пористой нержавеющей стали с порами 10-15 мкм. причем высота кольцевой вставки не превы шает 2 мм.

Иэобрбтйнке ОУН ГИГСЯ к микрозлехт- ронной технике, а именно к дозирующим устройствам бзрбстажиого тмпз дп выдачи определенной Аози парогйзовоЛ смеси. Целью изобретения является повышонме темности дознросания метагиюрганических соединений для япитэксиального процесса за счет повышения однородности парогззо- вой смеси. Газ- носитель через трубку G и се пористую рстэвку 7, выполненную высотой не более 2 ш. из пористой кержгБЗ. ощий стали с размерами пор 10 15мкм, проходит через налиг/ю в камеру 3 дозируемую жидкость о виде мелких несм пающихс : пузырьков и поступает через патрубок 5 отвода парогазовой сиег, установл. чн1.. ч крышке герметичной камеры 3. в реактор. 1 ил.