Кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек Советский патент 1985 года по МПК C30B33/00 H01L21/00 

Изобретение относится к оборудованию электронной промьппленности и может быть использовано при изготов лении полупроводниковых приборов и микросхем на технологических операциях обезжиривания, травления, снятия фоторезиста, финитной очистки. Цель изобретения - повышение эффективности обработки и защита поверхности подложек от загряжнения в межоперационный период. На фиг. 1 изображена кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек, общий вид; на фиг. 2 то же, вид сверху. Кассета состоит из корпуса, содержащего основание и фиксатор подложек, которые при помощи направляю щей стойки 1, гайки 2 и шпилек 3 жестко соединены между собой. Основание кассеты образовано тремя пара лельно расположенными распределяю щими трубками 4, которые посредство несущей трубки 5 соединены с направ ляющей стойкой 1. В последней имеет ся осевое отверстие для подачи газа сообщающееся посредством несущей трубки 5 с полостью распределяющих трубок 4, в которых прорезаны попе,речные пазы для размещения подложек причем глубина пазов больше толщины стенок распределяющих трубок, что обеспечивает подвод газа под каждую обра батываемую подложку. Фиксатор подложек выполнен из перфорированных пластин 6, которые закреплены по краям окон диска 7. Последний по средством шпилек 3 крепят на направ ляющей стойке 1 на высоте 2/3 диаметра обрабатываемых подложек. Ширина .. окон диска 7 превышает диаметр обрабатываемых подложек, а глубина пазов пластин 6 позволяет удерживать подложки на высоте 2/3 их диаметра. Перфорированные пластины 6 размещают на диске 7 таким образом, чтобы их пазы были совмещены с пазами распределяющих трубок 4 основания кассеты. Кассету, кроме распределяющих трубок 4 и несущей трубки 5, которые выполнены из нержавеющей стали, изготавливают из химически стойкого неметаллического материала, например фторопласта. На трубки 4 и несущую трубку 5 в целях предохранения обрабатываемых подложек от механических повреждений надевают фторопластовые оболочки. Кассета работает следующим образом. Обрабатываемые подложки устанавливают в пазы трубок 4 и пазы пластин 6. Количество подложек равно количеству совмещенных пазов в пластинах 6 « трубках 4. Загруженную кассету через направлякщую стойку корпуса присоединяют к газовой магистрали и помещают в камеру, содержащую реагент для обработки. Включают подачу газ, который через отверстия в направляющей стойке 1 и несущую трубку 5 попадает в распределительные трубки 4 и через выполненные в них пазы равномерно подводят под каяиую обрабатываемую подложку.

КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межопера- ционный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих трубок,полости которых при помощи несущей трубки сообщаются с осевым отверстием корпуса и на поверхности которых выполнены поперечные пазы глубиной, превышающей толщину стенок трубки, а фиксатор подложек выполнен в форме диска с профилированными окнами и снабжен перфорированными пластинами расположенными с обеих сторон кажсл дой распределяющей трубки и имеющих пазы, соответствующие пазам этих ;трубок.