Кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек Советский патент 1985 года по МПК C30B33/00 H01L21/00 

Описание патента на изобретение SU1168635A1

Изобретение относится к оборудованию электронной промьппленности и может быть использовано при изготов лении полупроводниковых приборов и микросхем на технологических операциях обезжиривания, травления, снятия фоторезиста, финитной очистки. Цель изобретения - повышение эффективности обработки и защита поверхности подложек от загряжнения в межоперационный период. На фиг. 1 изображена кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек, общий вид; на фиг. 2 то же, вид сверху. Кассета состоит из корпуса, содержащего основание и фиксатор подложек, которые при помощи направляю щей стойки 1, гайки 2 и шпилек 3 жестко соединены между собой. Основание кассеты образовано тремя пара лельно расположенными распределяю щими трубками 4, которые посредство несущей трубки 5 соединены с направ ляющей стойкой 1. В последней имеет ся осевое отверстие для подачи газа сообщающееся посредством несущей трубки 5 с полостью распределяющих трубок 4, в которых прорезаны попе,речные пазы для размещения подложек причем глубина пазов больше толщины стенок распределяющих трубок, что обеспечивает подвод газа под каждую обра батываемую подложку. Фиксатор подложек выполнен из перфорированных пластин 6, которые закреплены по краям окон диска 7. Последний по средством шпилек 3 крепят на направ ляющей стойке 1 на высоте 2/3 диаметра обрабатываемых подложек. Ширина .. окон диска 7 превышает диаметр обрабатываемых подложек, а глубина пазов пластин 6 позволяет удерживать подложки на высоте 2/3 их диаметра. Перфорированные пластины 6 размещают на диске 7 таким образом, чтобы их пазы были совмещены с пазами распределяющих трубок 4 основания кассеты. Кассету, кроме распределяющих трубок 4 и несущей трубки 5, которые выполнены из нержавеющей стали, изготавливают из химически стойкого неметаллического материала, например фторопласта. На трубки 4 и несущую трубку 5 в целях предохранения обрабатываемых подложек от механических повреждений надевают фторопластовые оболочки. Кассета работает следующим образом. Обрабатываемые подложки устанавливают в пазы трубок 4 и пазы пластин 6. Количество подложек равно количеству совмещенных пазов в пластинах 6 « трубках 4. Загруженную кассету через направлякщую стойку корпуса присоединяют к газовой магистрали и помещают в камеру, содержащую реагент для обработки. Включают подачу газ, который через отверстия в направляющей стойке 1 и несущую трубку 5 попадает в распределительные трубки 4 и через выполненные в них пазы равномерно подводят под каяиую обрабатываемую подложку.

Похожие патенты SU1168635A1

название год авторы номер документа
Устройство для вибрационной обработки фильтров водозаборных скважин 1981
  • Романенко Владимир Александрович
SU966174A1
Устройство для экспонирования пластин обрастания 1982
  • Раилкин Александр Иванович
  • Гудков Андрей Владимирович
SU1066514A1
Дисковый экструдер для переработки полимерных материалов 1981
  • Кузяев Иван Михайлович
SU975431A1
Устройство для определения пригодности сосковых трубок доильных стаканов к эксплуатации 1982
  • Корж Георгий Петрович
  • Прощак Владимир Максимович
SU1064926A1
Сеялка селекционная 1979
  • Нужный Александр Филиппович
  • Тюников Михаил Яковлевич
SU1049002A1
Сушилка виброкипящего слоя для дисперсных материалов 1982
  • Буданов Станислав Васильевич
SU1035370A1
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОТМЫВКИ И СУШКИ ПОДЛОЖЕК 2008
  • Комаров Валерий Николаевич
  • Комаров Роман Валерьевич
  • Сергеев Сергей Алексеевич
RU2386187C1
Сушилка 1984
  • Тимофеев Иван Руфович
  • Юдович Евгений Николаевич
SU1219893A2
Манипулятор для доения 1985
  • Винников Иван Кириллович
SU1273038A1
Станок для нанесения граней на стеклоизделия 1983
  • Андрюшин Илья Иванович
  • Ободников Юрий Иванович
SU1106640A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 168 635 A1

Реферат патента 1985 года Кассета для жидкофазной обработки поверхности подложек

КАССЕТА ДЛЯ ЖЦЦКОФАЗНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК, содержащая корпус с осевым отйерстием, основание с пазами для размещения подложек и фиксатор для их крепления, отличающаяся тем, что, с целью повышения эффективности обработки и защиты поверхности подложек от загрязнений в межопера- ционный период, основание кассеты выполнено в виде параллельно расположенных распределяющих трубок,полости которых при помощи несущей трубки сообщаются с осевым отверстием корпуса и на поверхности которых выполнены поперечные пазы глубиной, превышающей толщину стенок трубки, а фиксатор подложек выполнен в форме диска с профилированными окнами и снабжен перфорированными пластинами расположенными с обеих сторон кажсл дой распределяющей трубки и имеющих пазы, соответствующие пазам этих ;трубок.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1985 года SU1168635A1

Кассета для химической обработки,преимущественно подложек микросхем 1979
  • Фатюнин Борис Николаевич
SU902111A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1
Кассета для химической обработки и отмывки пластин 1972
  • Ходяк Виктор Михайлович
  • Шварцман Леонид Яковлевич
  • Бойко Николай Николаевич
SU457125A1
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 168 635 A1

Авторы

Мазуркевич Ярослав Степанович

Билоголовка Василий Тарасович

Волощук Анатолий Григорьевич

Кустов Иван Федорович

Пешехонова Людмила Васильевна

Щербина Иван Николаевич

Даты

1985-07-23Публикация

1984-02-20Подача