Электрохимический способ контроля качества диэлектрических оксидных пленок Советский патент 1985 года по МПК G01N27/48 

Изоб0ете11ие относится к электрохимии, конкретно к способам контрол качества диэлектрических оксидных пленок, и может найти применение в исследовании процессов электрохимической коррозии, а также на электро химических производствах по изготов лению металло-оксидных электродов. Целью изобретения является повышение точности и упрощение способа. На фиг. 1 изображена конструкция ячейки, в которой осуществляют сня.тие вольт-амперных характеристик алюминиевых анодов; на фиг, 2 - вольтамперная характеристика анода, снятая предлагаемым способом в двухэлектродной системе с ртутно-оксидным противоэлектродом (кривая А), и вольт-амперная характеристика ано да, снятая в трехэлектродной системе с использованием насьпценного каломельного электрода в качестве электрода сравнения (кривая В){ на фиг. 3 - вольт-амперная характеристика объемно-пористых алюминиевых анодов, снятая предлагаемым способо Предлагаемый способ реализуют в двухкамерной ячейке (фиг, 1), состояще ртутно-оксидного электрода 1, объединяющего функции противоэлектрода и электрода сравнения, платинового контакта 2, катодной камеры 3, стеклянной пористой диафрагмы 4, анодной камеры 5, алюминиевого объемно-пористого анода 6 и шлифа 7. Способ осуществляют следуклцим образом, В катодную камеру 3 электрохимической ячейки (фиг. 1) наливают 5 мл х.ч. ртути, пасту (растертая смесь 10 г оксида ртути (II) с 5 мл х.ч. ртути) и заливают смесь деоксигенизированным 0,1 М раствором гидроксида натрия. Анодную камеру 5 заполняют, раствором винно-боратного электролита (0,1 М бура + 0,05 М винная кислота, рН 6,5) и вставляют ее в катодную камеру 3, пришлифовывая шлифом 7 (диафрагма 4 погружается на глубину 0,5 см в католит). Погружают объемнопористьй алюминиевый - анод 6 с нанесенной диэлектрической оксидной пленкой в анолит.

J/f/4 5

ff 3 2

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ОКСЙДНЖ ПЛЕНОК, например алюминия, вкяючанщий снятие вопьт-ампёриых характеристик в пр сутсувин противоэлектрода, католита и анолита, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения .. способа, в качестве анолита используют формовочный электролит, содержапрй 0,1-0,2 М тетрабо рата натрия и 0,05-0,10 М винной кисло.ты, в качестве противоэлектрода - непояяриз.ующийся ртутно-оксидный электрод в 0,1 М растворе гидроксида натрия, а-снятие вольт-амперных характеристик осуще§ ствляют в двухкамерной ячейке с вертикальным расположением камер О)

(pui.3