Способ изготовления спая между стеклом и железоникельхромистым сплавом Советский патент 1986 года по МПК C03C27/02 

Изобретение относится к соединв нию изделий из стекла с изделиями и& других материалов, в частности к соединению стекла с металлом при изготовлении гермовводов и корпусов полупроводниковых приборов,

Целью изобретения является повышение качества получаемого спая и обеспечение устойчивости в работе при гелиевых температурах.

Способ иллюстрируется следующими примерами.

Пример 1. Подготовленный копус и токовводы из сплава 47НХР предварительно проходят обработку в течение 10 мин в разбавленной соляной кислоте (1:1), промываются в дистиллированной воде и поступают на предварительный отжиг в водороде с точкой росы -50 С при 900 С в течение 20 мин, Далее в графитовую кассету с отверстиями, количество которых соответствует количеству токовводов из сплава 47НХР, помещают корпус прибора из сплава 47НХР.

В отверстия корпуса вставляют, стеклотаблетки из стекла марки С95-2 и токовводы.

Собранный таким образом металло стеклянный узел в графитовой кассете помещают в ненагретую печь сопротивления.

15 -40 510, 610, 710,

810, 910, 980

17 -45 500, 600, 700,

800, 900 1000

1020°С

10

15

178123

Осуществляют продувку печного пространства инертным газом и нагрев печи. После достижения температур 490, 590, 690, 790, ,890 С 5 делают остановки при каждой темпе ратуре в течение 5 мин.

Далее температуру поднимают до и делают вьщержку в течение 15 мин, после чего печь выключают и ведут охлаждение в режиме выключенной печи. После охлаждения полученный металлостеклянный спай направляют на химическую обработку дпя снятия окисной пленки, образованной в процессе предварительного отжига металла и при получении спая.

Затем готовый металлостеклянный узел направляют на последующие операции. Для иллюстрации осуществления предлагаемого способа приведены дополнительные примеры, представленные в таблице.

Подготовительные операции во всех последуюпщх примерах аналогичны приведенному, причем в примерах 1 и 2 металлические детали изготавливают и з сплава 80 НЩХЗ.

Предлагаемый способ позволяет изготовить многовводные спаи гермо- вводов (ДО 70-80 шт.) , которые являются прочными и термически стойкими, выдерживающие многократное действие гелиевых температур.

20

25

30

4 20

,5 18

ti

ность металлическойдетали и поверхностиполученного спая. Спай вакуумно плотный обес900

1000

20 -50 510, 610. 710,4 810, 910

98020

15 -40 490, 590, 690,5 790, 890

102015

Редактор А.Долинич

Составитель А.Борисов Техред С.Мигунова

1077/28 Тираж 458Подписное

ВНИИПИ Государствениого комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ПШ Патент, г.Ужгород, ул.Проектная, 4

Продолжение таблицы

печивал работу при температуре жидкого гелия

Корректор И.Эрдейи