Способ контроля герметичности полых изделий Советский патент 1986 года по МПК G01M3/04 

Изобретение относится к способам контроля герметичности и может быть использовано для контроля герметичности полых изделий, в частности герметизированных микросхем и микросборок.

Цель изобретения - повышение достоверности контроля.

На фиг. 1 изображена схема устройства, реализующего способ контроля герметичности полых изделий; на фиг. 2 - диаграмма показаний датчика давления в зависимости от состояния изделия.

Устройство содержит установленный в полости изделия 1 датчик давления, выполненный в виде емкости 2 с упругим участком 3, на котором размещают преобразователь, например, тензосхему (не показана).

Емкость 2 имеет полость 4, заполняемую газом, и крепится основанием 5 к внутренней поверхности изделия 1. Выводы б соединяют тензосхему с герметичными выводами 7, которые обеспечивают передачу сигнала с датчика на аппаратуру измерения (не показана) выходного сигнала.

Способ контроля герметичности осуществляют следующим образом.

Предварительно производят градуировку и настройку тензосхемы датчика давления. При этом заполняют полость 4 емкости 2 газом под давлением PI, устанавливают выходной сигнал датчика примерно на 10-20% ниже номинального значения при равенстве давления Р2 и полости изделия I и PI в полости 4 емкости 2. Затем определяют выходные напряжений датчика при номинальном давлении в полости изделия 1, при равенстве давления Ро в полости изделия 1 давлению окружающей среды РЗ, и при давлении окружающей среды РЗ примерно равном нулю. При градуировке датчика получают диаграмму показаний датчика давления. Область А соответствует герметичности изделия, область Б - разгеметизации полости изделия до нормального атмосферного давления, область В - разгерметизации полости изделия до вакуума и область Г- выходу из строя датчика давле- ния, т. е. разгерметизации его внутренней полости вне зависимости от состояния изделия 1.

После градуировки датчика давления его устанавливают в полость изделия 1, заполняют ее газом под давлением р2,

превышающим давление РЗ окружающей среды, но меньщим, чем давление PI в полости датчика. Герметизируют изделие 1. После этого подают питание на тензосхему и контролируют выходной сигнал датчика, сравнивая его с градиуровочной характеристикой и диаграммой показаний.

Изобретение позволяет повысить достоверность контроля путем непрерывного слежения за работоспособностью датчика давления внутри изделия, так как опрессовка полости датчика давлением, превышающим давление газа в изделии, обеспечивает наличие постоянного контролирующего сигнала при любом давлении окружающей среды.

25

Формула изобретения

Способ контроля герметичности полых изделий, заключающийся в тЬм, что в полости изделия размещают датчик давления, заполняют полость Изделия газом под давлением, превыщающим давление окружающей среды, и измеряют величину выходного сигнала датчика давления, по изменению которого суди о герметичности изделия, отличающийся тем, что, с целью

повышения достоверности, в качестве датчика давления используют емкость, имеющую упругий участок поверхности, которую заполняют газом, под давлением, превышающим давление в полости изделия.

.7.

-I

фиг.1

Редактор М. Товтин Заказ 1914/40

риг2

Составитель Б. Махтин

Техред И. ВересКорректор А

Тираж 778Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по де.пам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,

Изобретение позволяет повысить достоверность контроля полых изделий, разгерметизация которых в процессе эксплуатации не допускается, путем обеспечй 1ия непрерывной проверки работоспособности датчика утечки, размещенного в полости изделия. В качестве датчика утечки используют датчик давления, выполненный в виде емкости .с упругим участком, которую заполняют газом под давлением, превышающим давление газа в самой полости изделия, при этом газ в полость изделия подают под давлением, превышающим давление окружающей его среды. Измеряют величину выходного сигнала, полученного от деформации упругого участка до контроля изделия, определяя градуировочную характеристику датчика. Выдерживают изделия заданное время. Определяют изменение выходного сигнала упругого участка, по которому судят о степени герметичности изделия. 2 ил. го IsD 4 05 4 О