Контейнер для зонной плавки полупроводниковых материалов Советский патент 1959 года по МПК C30B13/14 

Применяемые в настоящее время тигли для плавки таких полупроводниковых материалов, как кремний, изготавливают из кварца. Основным недостатком такого тигля является то, что жидкий кремний, смачивая кварц при посчедующем охлаждении расплава до комнатной температуры и затвердевания его, приводит к сцеплению частиц кремния со стенками тигля и растрескиванию как слитка, так и тигля Ввиду различия коэффициентов термического расширения.

Предлагаемый контейнер исключает этот недостаток применением обмазок из окисей бериллия или циркония, или тория, которыми покрывают стенки тигля, обеспечивая тем самым увеличение срока его службы в десятки раз. Для этого мелкорастолченную окись какоголибо из указанных материалов смешивают с 4%-ным крахмалом до сметанообразного состояния и наносят эту смесь в виде тонкой пленки на поверхность тигля. После высыхания первого слоя наносят второй и сушат его в течение 24 час. Далее проводят отжиг слоя обмазки при 550 до полного выгорания крахмала.

Слитки кремния, покрученные в таких тиглях (контейнерах), легко извлекаются из них. Электрические свойства этих слитков по своим свойствам не уступают слиткам, полученным в необмазанных кварцевых контейнерах.

Предмет изобретен Я

Контейнер для зонной плавки полупроводниковых материалов, о тj и ч а ю ш, и и с я тем, что, с целью повышения чистоты получаемого продукта, кварцевый контейнер покрывают окисям, бериллия или циркония, или тория.