Устройство для замера уровня расплава в тигле Советский патент 1960 года по МПК C30B15/22 

В сушествзюш.ей -промышленной и лаборато;рной практике нет п ригодных устройств и точных методов для измерения уровня расплава металла в тигле, удовлетворяющих высоким требо1вания1М чистоты при вытягИваяИИ лолупр0 водных монокристаллов.

Описываемое устройство поэволяет контролировать уровень расплава в тигле с полупроводниковым материалом и способствует предотврашемию загрязнения расплава, та-к как определение положения уровня расплава и дача сигнала автоматизации управления процессом осуществляются при помощи емкостного датчика .расстояний, выполненного в виде плоского конденсатора, а не при помощи механического контакта датчика с расплавом.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство, в общем виде.

Одной Из обкладок плоскогоконденсатора является расплав /, а другой-горизонтальная пластина 2, защищенная от воздействия паров расплава кварцевой прокладкой 3 (для случаев расплава тугоплавких по1тупроводников, подобных кремнию, реагирующих почти со всеми материала.ми, кроме некоторых окислов) и прикрепленная к вертикальному штоку 4, перемещающемуся вдоль оси в вертикальном направлении при помощ.и реверсивного электродвигателя (стрелкой А отмечено направление к двигателю).

П.тастина изготавливается из графита или тугоплавкого металла, например танта.ча, или из полупроводникового материала, аналогичного находящемуся в тигле. Токоподвод к пластине осуществляется . при по.мощи гибкой, узкой танталовой ленты через вакууМные вводы 5, а к расплаву - через растущий кристалл 6 или же через конденсаторн чо пластину 7, ана;гогич ную пластине 2. Со щтоком жестко связан держатель 8 термопары, предназначенной для замера температуры расплава и не соприкс сающейся с носледпИМ.