ТОКОПРОВОДЯЩИЙ СОСТАВ Советский патент 1994 года по МПК H01B1/02 

Изобретение относится к электротехнике и может найти применение, в частности, при изготовлении тонкопленочных резисторов.

Целью изобретения является повышение стабильности и увеличение выхода годных резисторов.

Предлагаемый токопроводящий материал представляет механическую смесь порошков титана и алюминия, которую напыляют в вакууме на концевые участки резистивной пленки, нанесенной на керамическую подложку.

Для получения контактных элементов было подготовлено три состава токопроводящего материала с соотношением компонентов, указанным в табл. 1.

Удельные сопротивления напыленных пленок токопроводящего материала, термообработанных при различных температурах (400-600^оС), имеют малые величины (см. табл. 1) и поэтому могут использоваться в качестве контактных элементов тонкопленочных резисторов, резистивные слои которых проходят термообработку одновременно с нанесенными на них контактными элементами.

На основе трех составов токопроводящего материала были изготовлены прецизионные тонкопленочные цилиндрические резисторы. После напыления в вакууме на керамические основания низкоомной резистивной пленки на основе Gr-Fe-Al-SiO₂-Al₂O₃ получаемые заготовки загружали в специальные кассеты, позволяющие провести напыление контактных элементов из предлагаемого токопроводящего материала на края резистивной пленки. Кассеты с заготовками помещали в установку вакуумного напыления типа "Озон" в вертикальном положении. В центре устанавливали два вольфрамовых испарителя с нанесенным на них токопроводящим материалом (по 700-900 мг на каждый испаритель). Кассеты с заготовками, расположенные вокруг испарителей, при проведении процесса напыления вращались вокруг своей оси и одновременно вокруг испарителей. После окончания напыления токопроводящего материала и получения контактных элементов тонкопленочных резисторов проводили термообработку заготовок на воздухе при температуре 500^оС. Подогнанные в заданные номиналы резисторы окрашивали эмалью ЭП-921 с последующей сушкой ее при температуре 200-240^оС. В табл. 2 приведены полученные результаты по измерению величин сопротивления резисторов после окраски. Замеры проводили на выборках по 100 шт.

Приведенные в табл. 2 результаты подтверждают более высокую стабильность резисторов, изготавливаемых на основе предлагаемого токопроводящего материала по сравнению с известным, так как изменение величины сопротивления их в процессе изготовления (после окраски) в 5-7 раз меньше. Малое отклонение величин изменений сопротивлений от среднего значения (не более ±0,07% , т.е. на порядок лучше, чем с известным токопроводящим материалом) обеспечивает увеличение выхода годных высокоточных резисторов с допускаемыми отклонениями от номинала ±0,25%, ±0,5%.

Улучшенная стабильность резисторов, изготовленных с контактными элементами из предлагаемого токопроводящего материала, подтверждается результатами проведенных испытаний, представленными в табл. 3.

Таким образом, использование предлагаемого токопроводящего материала в качестве контактных элементов тонкопленочных резисторов позволяет значительно улучшить их стабильность как в процессе изготовления, повысив тем самым выход высокоточных резисторов, так и в процессе эксплуатации готовых изделий.

ТОКОПРОВОДЯЩИЙ СОСТАВ для контактных элементов тонкопленочных резисторов, включающий титан и металл с малым удельным сопротивлением, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности и увеличения выхода годных резисторов на его основе, он содержит в качестве металла с малым удельным сопротивлением алюминий при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Титан 3 - 20
Алюминий Остальное