ТОКОПРОВОДЯЩИЙ МАТЕРИАЛ Советский патент 1974 года по МПК H01B1/02 H01C7/00 

1

Изобретение относится к электронной технике, изготовлению элементов схем и резисторов.;

Известен токопроводящий материал для контактов резисторов па основе меди: 94% Си, 5% Ni, 0,5% Мп.

Этот материал имеет низкое удельное сопротивление и применим при низких температурах до 300-350°С.

Однако он обладает низкой прочностью и термостойкостью.

Для получения стабильного надежного контакта между двумя пленками резистивной, на основе Сг-Ti-SiO, и контактной, контактная пленка наносится на резистивную, и после они подвергаются термообработке на воздухе при температуре 450-650°С.

Цель изобретения - повышение стабильности и надежности резисторов.

Для увеличения термостойкости контактного материала на основе меди предлагается ввести хром и титан в следующем соотношении (в вес. %): хром - 25-40, титан - 10-15.

Токопроводяш.ий материал, содержащий 50% Си, 35,7% Сг и 14,3% Ti и представляющий собой смесь порошков этих металлов, испарялся в вакууме на керамические трубки.

Термообработка на воздухе в диапазоне температур 400-650°С почти не измепяет сопротивления слоя, что свидетельствует о достаточно высокой термостойкости токоироводящего материала.

При испытаниях токопроводящий материал использовался в качестве контактных поясков резисторов повышенной стабильности.

Ири нагрузках 2-6 вт/см резисторы без контактных поясков изменяют сопротивление на единицы процентов, резисторы с контактными ноясками предлагаемого состава изменяют сопротивление на десятые доли процента.

Таким образом, предлагаемый токопроводящий материал обладает удовлетворительной термостойкостью, доиускающей термообработку на воздухе при 450-650°С, и пригоден для использования в качестве контактов со слоями высокого удельного сопротивления на основе Сг-Ti-SiO тонкопленочных резисторов, повышая их стабильность и надежность.

Предмет изобретения

Токопроводящш материал, например, для контактов тонкопленочных резисторов, содержащий медь, хром и титан, отличающийс я тем, что, с целью повыщения стабильно3сти и надежности резисторов, исходные компоненты материала взяты в следующем количественном соотношении (в вес. %): 434484 4 Медь50-60 Хром25-40 Титан10-15.