Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и гложет быть использовано при химической и электрохимической обработке полупроводниковых или иных пластин, например для травления, анодного окисления, получения слоев пористого кремния и т.д.
Цель изобретения - повышение Качества полупроводниковых пластин путем защиты необрабатываемой стороны от попадания обрабатывающей жидкости
На фиг.1 схематически изображено устройство, разрез, на фиг.2 - то же,в рабочем положении.
Устройство содержит держатель полупроводниковой пластины в виде стакана 1, на дне которого имеется опорный выступ 2, уплотнительный элемент выполняемый в виде эластичной герметичной камеры 3, размещенной на стенках стакана 1, полость которой снабжена патрубком 4 для напуска сжатого газа, трубку- 5 и электрический контактный элемент 6 с проводником 7, размещенный на опорном выступе 2.
Устройство используют следующим образом.
Обрабатываемую пластину 8 помещают на контактный элемент 6 и подаю сжатый газ в полость камеры 3. При
этом стенки камеры 3 прижимаются к кромке пластины 8 и герметично уплотняют ее. Затем к элементу 6 подводят (в случае необходимости) электрический потенциал и осуществляют жидкостную обработку одной стороны пластины 8. При этом обрабатывающая жидкость не проникает на другую сторону пластины 8.
Формула изобретения
Устройство для жидкостной обработки полупроводниковых пластин, содержащее держатель полупроводниковой пластины, электрический контактный элемент и уплотнительный элемент, отличающееся тем, что, с целью повышения качества полупроводниковых пластин путем защиты необрабатываемой стороны от попадания обрабатывающей жидкости, держатель полупроводниковой пластины выполнен в виде стакана, на дне которого выполнен опорный выступ для размещения полупроводниковой пластины, а уплотнительный элемент вьшолнен в виде эластичной камеры, размещенной на стенках стакана, полость которой снабжена патрубком для напуска сжатого газа.
фие.1
Составитель Г.Падучин Редактор Ю.Середа Техред Л.Олейник Корректор А. Зимокосов
Заказ 5033/52 Тираж 643Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛЕГЧЕНИЯ ЗАПУСКА ДВИГАТЕЛЯ ВНУТРЕННЕГО СГОРАНИЯ | 2003 |
|
RU2240441C1 |
| СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 1997 |
|
RU2133997C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН | 1992 |
|
RU2073932C1 |
| Установка для паровой обработки полупроводниковых изделий | 1990 |
|
SU1830295A1 |
| СПОСОБ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2065891C1 |
| НАСОСНАЯ УСТАНОВКА | 1996 |
|
RU2157910C2 |
| Устройство для испытания подшипников скольжения на трение и изнашивание | 1989 |
|
SU1640607A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ПРОБЫ ТЕКУЧЕЙ СРЕДЫ (ВАРИАНТЫ) И СООТВЕТСТВУЮЩИЙ СПОСОБ | 2018 |
|
RU2740023C1 |
| Подвеска для избирательного гальванического покрытия полых изделий | 1983 |
|
SU1079702A1 |
| ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ОБРАБОТКИ, СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ И РАСШИРИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ДЕРЖАТЕЛЯ | 2002 |
|
RU2295799C2 |
Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано, например, при химической обработке полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение качества полупроводниковых пластин достига.ется благодаря тому, что стенки эластичной герметичной камеры 3 прижимаются к кромке пластины 8. К элементу 6, расположенному на опорном выступе 2, подводят электрический потенциал и осуществляют жидкостную обработку одной стороны пластины 8. 2 ил. с 1C сд 00 УЯ фи8.2
| Устройство для локальной электрохимической обработки полупроводниковой пластины | 1979 |
|
SU879678A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Патент США № 4043894 кл | |||
| Ротационный фильтр-пресс для отжатия торфяной массы, подвергшейся коагулированию, и т.п. работ | 1924 |
|
SU204A1 |
