Способ контроля шероховатости поверхности Советский патент 1986 года по МПК G01B15/08 

ю

Изобретение относится к способам технических измерений и может быть использовано для экспрессного кон:троля степени шероховатости, в том числе в системах автоматического кон:троля.

Цель изобретения - повьшшние точно-сти контроля путем использоввния вторичного характеристического рентгеновского излучения от контролируемого образца.

Способ осуществляется следующим образом.

Поверхности эталонного и контролируемого образцов последрвательно облучают пучком первичного ионизирующего излучения и регистрируют интенсивность вторичного характеристического рентгеновского излучения от обоих образцов. В качестве эталонного образца выбирается образец с химическим составом, аналогичным составу контролируемого образца, и с известной щероховатостью поверхности. Измерения проводят по наиболее интенсивной лиНИИ спектра вторичного характеристического рентгеновского излучения,, напри1 ер, по К| - линии элемента, присутствующего в образце в наибольшем количестве, в качестве которого, например, выбирают при контроле поверхностей образцов из дерева или органических материалов углерод, из стекла или керамики - кремний, из алюминиевых сплавов - алюминий, из стали других сплавов на основе железа (инвар, пермалой, фехраль и др.) - железо, из спланов на основе меди латунь, константан, манганин, нейзильбер, никелин, реотан и др.) - медь, из сплавов на основе никеля (инконель, м6нель, нихром и др.) никель и т.д. В качестве первичного ионизирующего излучения используют излучение, наиболее эффективно возбуждающее вторичное характеристическое рентгеновское излучение, например, для возбуждения атомов с атомным номером, метльтим 13 -об-частиц, для возбуждения более тяжелых атомов - мягкое рентгеновское излучение, источниками которых могут быть рентгеновские трубки, радиоизотопные источники, ускорители заряженных частиц. Энергию первичного излучения выбирают такой, чтобы его проникающая способность бьша одного порядка с характерными размерами шероховатостей, но большей энергии ионизации, соответствующей внутренней оболочки атома для мягкого рентгеновского излучения, и большей 1 МэВ для

с гчастиц. Угол падения первичного излучения выбирают в пределах 10-30, что повьппает чувствительность измерений. Угол регистрации вторичного характеристического рентгеновского излучения должен составлять 80-90°, что снижает влияние химического состава контролируемых образцов на результаты измерений. Изменение степени шероховатости облучаемой поверх5 ности приводит к изменению интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучетшя, при этом увеличение шероховатости вЪТзьшаёт уменьшение интенсивности вторичного

0 излучения. Максимальное изменение интенсивности вторичного излучения наблюдается при изменении характерных размеров шероховатостей поверхности образца в пределах от величины

5 ПОЛНОГО: пробега об-частиц в веществе образца до десяти величин полного пробега. При возбуждении рентгеновским излучением в качестве величины полного пробега используют величину, обратную линейному коэффициенту ослабления первичного рентгеновского излучения веществом образца. При указанных . геометрических условиях и пределах изменения шероховатости поверх, ности изменение интенсивности вторич5 ного характеристического рентгеновского излучения составляет от 30до 60% в зависимости от геометрии измерений, энергии первичного.излучения и образца. Сравнивая интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучения от эталонного и контролируемого образцов, по разности зарегистрированных интенсивностей судят о шероховатости контролиру5 емой поверхности.

-Формулаиз обретения

Способ контроля шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность облучают пучком первичного ионизирующего излучения, регистрируют интенсивность вторичного излучения и определяют ве5 личину шероховатости поверхности, отличающийся тем, что, с целью повьш1ения точности контроля, в качестве вторичного излучения ре3 .12705614

гистрируют интенсивность характерис--геновского излучения от эталонного

тического рентгеновского излучения,образца и определяют величину шероховыбирают эталонный образец из мате-ватости поверхности по разности зарериала контролируемой поверхности с :гистрированных интенсивностей хаизвестной шероховатостью, направляют sрактеристического рентгеновского

на эталонный образец превичного иони-излучения от эталонного образца

зирующего излучения, регистрируют ин-и от контролируемой поверхнос тенсивность характеристического рент-ти.

Изобретение относится к конт- , рольно-измерительной технике и может быть использовано для экспре.ссного контроля степени шероховатости поверхности. Цель изобретения - повьппение точности контроля путем использования вторичного характеристического рентгеновского излучения от контролируемого образца. Выбирают эталонный образец из материала контролируемой .поверхности с известной шероховатостью. Образец и контролируемую поверхность облучают пучком ионизирующего излучения, регистрируют интенсивности характеристических рентгеновских излучений от образца и поверхности, а величину шероховатости поверхности определяют по разности зарегистриро;ванных интенсивностёй. W