Способ определения шероховатости поверхности Советский патент 1989 года по МПК G01B15/02 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с использованием ионизирующего излучения.

Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения от одного из элементов состава поверхности.

На чертеже изображена схема устройства, реализующая предлагаемый способ измерения шероховатости поверхности.

Устройство содержит источник 1 гамма- или рентгеновского излучения. Исследуемый образец обозначен позицией 2, а устройство выделения и измерения интенсивности вторичного характеристического излучения - позицией 3. На чертеже изображены углы 0, и f падения первичного излучения и углы V, и Фг отбора вторичного излучения при первом и втором измерениях соответственно.

В качестве устройства 3 можно использовать, например, кристальмонохро- матор пропорциональный, сцинтилляци- онный или полупроводниковый счетчик с последующим выделением характеристического излучения пороговыми устройствами и т.п.

Способ осуществляется следующим образом.

Первичное излучение от радиоактивного источника 1 или рентгеновской трубки направляют под углом У, на поверхность исследуемого образца 2.

СП

со

N9

00

Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца, отбирают под углом V. и его интенсивность измеряют устройством 3. Затем изменяют углы Ч1, и относительно условного центра на поверхности и измеряют интенсивность характеристического излучения при новых значениях углов fa и и сравнивают их отношение с градуировоч- ной характеристикой, построенной для образцов известной шероховатости.

С целью повышения экспрессности измерения отбор характеристического излучения можно производить одновременно двумя устройствами 3 выделения и регистрации при различных углах отбора V, и t , угол Ч не меняется.

При этом изменение углов и V производят в одном и том же направлении по отношению к контролируемой поверхности и не обязательно на одну и ту же величину.

Для получения максимальной чувствительности изменяют углы Ч и ф одновременно и устанавливают в одном случае максимально, в другом минимально конструктивно возможные. Энергию первич- ного излучения выбирают исходя из достаточности возбуждения флуоресцирующего элемента.

Предлагаемый способ позволяет pa-v ботать по единой градуировочной харак теристике для образцов с резко различ Л

v

5

0

5

0

5 ным химическим составом и увеличить чувствительность более чем в 4 раза, т.е. соответственно улучшить точность определения шероховатости поверхности.

Формула изобретения

Способ определения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность облучают пучком первичного ионизирующего излучения с заданными параметрами, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения одного из элементов, входящих в состав поверхности, изменяют один из параметров пучка, повторно облучают поверхность пучком первичного излучения, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения того же элемента, входящего в состав поверхности, и по отношению зарегистрированных интенсивностей определяют величину шероховатости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов, в качестве изменяемого параметра пучка используют угол падения пучка первичного излучения, а угол, под которым регистрируют вт.орич- ное излучение, изменяют в том же направлении по отношению к контролируемой поверхности, что и угол падения пучка первичного излучения.

/-

А/

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с использованием ионизирующего излучения. Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения поверхности. Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца, отбирают под углом и его интенсивность измеряют устройством выделения и измерения интенсивности вторичного характеристического излучения. После изменения углов падения и регистрации измеряют интенсивность излучения. 1 ил.